特許

J-GLOBAL ID：201203039247910675

流出スクラビング及び湿分制御が向上した除去システム

発明者： チャンドラー フィル ,  クラーク ダニエル オー ,  フーシュダラン フランク ,  ブラウン ダン エス ,  ペイジ バリー ,  フォックス アレン ,  ダンセン ジョージ エル ザ サード ,  ジュン ジェイ
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (6件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  上杉 浩
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-535680
公開番号（公開出願番号）：特表2012-508105
出願日： 2009年11月06日
公開日（公表日）： 2012年04月05日
要約：

本明細書では改善された流出物処理装置が提供される。幾つかの実施形態において、除去システムは、流出ストリームが貫通して流れる排出導管と、流出ストリームから非排出可能流出物を除去するために排出導管内に配置される複数の充填床と、流出ストリームから非排出可能流出物を除去するために流出処理剤を隣接する充填床間に提供する1つ又はそれ以上の噴霧ジェットと、最上充填床上で排出導管内に配置され、大きな液滴の流出処理剤を提供して、微細液滴を実質的に形成することなく最上充填床の上側表面から粒子状物質を湿潤させリンスするドリッパーと、を含むことができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

流出ストリームが貫通して流れる排出導管と、 前記流出ストリームから非排出可能流出物を除去するために前記排出導管内に配置される複数の充填床と、 前記流出ストリームから非排出可能流出物を除去するために流出処理剤を隣接する前記充填床間に提供するよう構成された1つ又はそれ以上の噴霧ジェットと、 最上充填床上で前記排出導管内に配置され、大きな液滴の流出処理剤を提供して、微細液滴を実質的に形成することなく前記最上充填床の上側表面から粒子状物質を湿潤させリンスするドリッパーと、 を備えた除去システム。

IPC (5件)：

B01D 53/68 ,  B01D 53/77 ,  B01D 47/06 ,  B01D 53/18 ,  B01D 53/72

FI (6件)：

B01D53/34 134D ,  B01D47/06 A ,  B01D53/18 C ,  B01D53/18 E ,  B01D53/34 134B ,  B01D53/34 120D

Fターム (35件)：

4D002AA17 ,  4D002AA22 ,  4D002AA23 ,  4D002AA26 ,  4D002AA40 ,  4D002AC07 ,  4D002BA02 ,  4D002BA05 ,  4D002BA13 ,  4D002BA14 ,  4D002CA01 ,  4D002CA07 ,  4D002DA35 ,  4D002DA64 ,  4D002DA70 ,  4D002EA02 ,  4D002GA03 ,  4D002GB20 ,  4D020AA10 ,  4D020BA23 ,  4D020BB03 ,  4D020CB08 ,  4D020CB27 ,  4D020CC06 ,  4D020CD02 ,  4D020CD10 ,  4D020DA01 ,  4D020DB20 ,  4D032AC01 ,  4D032AC05 ,  4D032AC07 ,  4D032AC09 ,  4D032BA03 ,  4D032BB09 ,  4D032CA01