特許
J-GLOBAL ID：201203039840091117
エッチング剤及びこれを用いたエッチング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-278161
公開番号（公開出願番号）：特開2012-129304
出願日： 2010年12月14日
公開日（公表日）： 2012年07月05日
要約：
【課題】金属酸化物層と銅層とが共存する被処理物のエッチングに用いられ、前記銅層を選択的にエッチングできるエッチング剤と、これを用いたエッチング方法を提供する。【解決手段】Zn、Sn、Al、In及びGaから選ばれる1種以上の金属の酸化物を含む金属酸化物層と銅層とが共存する被処理物のエッチングに用いられ、前記銅層を選択的にエッチングするエッチング剤において、第二銅イオン源を銅イオンとして0.1〜3.0重量%、炭素数が6以下の有機酸を0.1〜30.0重量%、並びに、環内に窒素原子を2つ以上有する複素環式化合物、及び炭素数が8以下のアミノ基含有化合物からなる群より選ばれる1種以上の窒素含有化合物を0.1〜30.0重量%含有する水溶液からなり、pHが5.0〜10.5であることを特徴とするエッチング剤とする。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
Zn、Sn、Al、In及びGaから選ばれる1種以上の金属の酸化物を含む金属酸化物層と銅層とが共存する被処理物のエッチングに用いられ、前記銅層を選択的にエッチングするエッチング剤において、
第二銅イオン源を銅イオンとして0.1〜3.0重量%、
炭素数が6以下の有機酸を0.1〜30.0重量%、並びに、
環内に窒素原子を2つ以上有する複素環式化合物、及び炭素数が8以下のアミノ基含有化合物からなる群より選ばれる1種以上の窒素含有化合物を0.1〜30.0重量%含有する水溶液からなり、
pHが5.0〜10.5であることを特徴とするエッチング剤。
IPC (8件)：
H01L 21/306
, H01L 29/786
, H01L 21/336
, H01L 21/28
, H01L 21/768
, H01L 21/321
, H01L 21/320
, H01L 23/532
H01L21/306 F
, H01L29/78 618B
, H01L29/78 612D
, H01L21/28 E
, H01L21/88 C
, H01L21/88 M
4M104AA03
, 4M104AA09
, 4M104BB04
, 4M104BB36
, 4M104DD64
, 4M104HH20
, 5F033HH11
, 5F033HH12
, 5F033HH38
, 5F033QQ20
, 5F033WW04
, 5F033XX00
, 5F043AA26
, 5F043AA27
, 5F043BB18
, 5F110AA16
, 5F110BB01
, 5F110GG01
, 5F110QQ05
