特許

J-GLOBAL ID：201203040231869320

MEMS光スキャナ

発明者： 河野 清彦 ,  橘 宏明 ,  入江 健一
出願人/特許権者： パナソニック電工株式会社
代理人 (4件)： 西川 惠清 ,  水尻 勝久 ,  坂口 武 ,  北出 英敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-167525
公開番号（公開出願番号）：特開2012-027337
出願日： 2010年07月26日
公開日（公表日）： 2012年02月09日
要約：

【課題】不要な反射光の方向がミラー面での反射光の方向に揃うのを抑制することが可能なMEMS光スキャナを提供する。【解決手段】半導体基板であるSOI基板100を用いて形成され可動部20にミラー面21が設けられたミラー形成基板1と、ミラー形成基板1においてミラー面21が設けられた一表面側に接合された第1のカバー基板2と、ミラー形成基板1の他表面側に接合された第2のカバー基板3とを備える。ミラー形成基板1は、外側フレーム部10と、外側フレーム部10の内側に配置された可動部20と、外側フレーム部10と可動部20とを連結した一対の捩りばね部30,30とを有する。第1のカバー基板2におけるミラー形成基板1とは反対の外表面側に、透光性部材6が配置される。透光性部材6は、第1のカバー基板2側とは反対側の表面が、第1のカバー基板2におけるミラー形成基板1側の平面とは非平行な非平行面61となっている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

半導体基板を用いて形成され可動部にミラー面が設けられたミラー形成基板と、前記ミラー形成基板において前記ミラー面が設けられた一表面側に接合されたガラス基板からなる第1のカバー基板と、ミラー形成基板の他表面側に接合された第2のカバー基板と、前記可動部を駆動する駆動手段とを備え、前記ミラー形成基板が、外側フレーム部と、前記外側フレーム部の内側に配置された前記可動部と、前記外側フレーム部の内側で前記可動部を挟む形で配置され前記外側フレーム部と前記可動部とを連結し捩れ変形が可能な一対の捩りばね部とを有し、前記第1のカバー基板における前記ミラー形成基板側とは反対の外表面側に、透光性部材が配置されており、前記透光性部材における前記第1のカバー基板側とは反対の表面が、前記第1のカバー基板における前記ミラー形成基板側の平面とは非平行な非平行面であることを特徴とするMEMS光スキャナ。

IPC (4件)：

G02B 26/10 ,  G02B 26/08 ,  G02B 5/08 ,  G02B 7/182

FI (4件)：

G02B26/10 104Z ,  G02B26/08 E ,  G02B5/08 A ,  G02B7/18 Z

Fターム (24件)：

2H042DA02 ,  2H042DA08 ,  2H042DA12 ,  2H042DA19 ,  2H042DE07 ,  2H043BB03 ,  2H043CA01 ,  2H043CD03 ,  2H045AB08 ,  2H045AB73 ,  2H045CB63 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MC07 ,  2H141MD12 ,  2H141MD16 ,  2H141MD20 ,  2H141MD24 ,  2H141MF16 ,  2H141MG03 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ25 ,  2H141MZ28 ,  2H141MZ30