特許
J-GLOBAL ID：201203040448118374
X線検出システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-203409
公開番号（公開出願番号）：特開2012-058147
出願日： 2010年09月10日
公開日（公表日）： 2012年03月22日
要約：
【課題】電子線を照射した試料からの特性X線を回折させてスペクトルを採取するシステムにおいて、採取スペクトルの各ピークが、測定対象であるか、カソードルミネッセンスや高次線の複合ピークであるかの情報を提供する。【解決手段】試料に対して電子線を照射する電子線照射部10と、電子線が照射された前記試料から放出される特性X線を受けて回折X線を生じさせる回折格子50と、前記回折格子で生じた回折X線を検出するイメージセンサ60と、前記回折X線のイメージのエネルギー分散方向を測定長手方向として前記イメージセンサに隣接して配置され、エネルギー設定範囲において前記回折X線を検出するシンチレーションカウンタ70と、前記イメージセンサで検出された前記回折X線のスペクトルを分析すると共に、前記シンチレーションカウンタの検出結果を参照し、前記スペクトルのピークの内容を分析する分析部80とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料に対して電子線を照射する電子線照射部と、
電子線が照射された前記試料から放出される特性X線を受けて回折X線を生じさせる回折格子と、
前記回折格子で生じた回折X線を検出するイメージセンサと、
前記回折X線のイメージのエネルギー分散方向を測定長手方向として前記イメージセンサに隣接して配置され、エネルギー設定範囲において前記回折X線を検出するシンチレーションカウンタと、
前記イメージセンサで検出された前記回折X線のスペクトルを分析すると共に、前記シンチレーションカウンタの検出結果を参照し、前記スペクトルのピークの内容を分析する分析部と、
を備えたことを特徴とするX線検出システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (23件)：
2G001AA03
, 2G001BA05
, 2G001BA18
, 2G001BA20
, 2G001BA29
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA02
, 2G001DA06
, 2G001DA09
, 2G001EA02
, 2G001EA06
, 2G001GA01
, 2G001GA03
, 2G001HA13
, 2G001JA13
, 2G001KA01
, 2G001KA13
, 2G001PA07
, 2G088FF02
, 2G088GG17
, 2G088GG21
, 2G088JJ08
