特許

J-GLOBAL ID：201203041227659954

遮光瞳を有する高開口率対物光学系

発明者： マン ハンス-ユルゲン ,  シェイファー デイヴィッド ,  ウルリッヒ ヴィルヘルム
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
代理人 (4件)： 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-054126
公開番号（公開出願番号）：特開2012-168541
出願日： 2012年03月12日
公開日（公表日）： 2012年09月06日
要約：

【課題】対物光学系、特に、投影対物光学系、好ましくは、マイクロリソグラフィー投影対物光学系の提供。【解決手段】光線束を通過させる開口部を有さない少なくとも1枚の鏡S1を有する第1部分対物光学系100と、少なくとも1枚の1次凹面鏡SK1と1枚の2次凹面鏡SK2を有する第2部分対物光学系200とを含み、1次凹面鏡SK1と2次凹面鏡SK2が光線束を通過させる開口部を有する、動作波長が特に193nm以下の、対物光学系、特にマイクロリソグラフィー投影対物光学系に関する。【選択図】図1q

請求項（抜粋）：

対象物面(10)と、 結像面(20)と、 少なくとも第1の鏡(1000)及び第2の鏡(1010)を備えた第1部分鏡群(300.1)と、 少なくとも第3の鏡(1020)及び第4の鏡(1030)を備えた第2部分鏡群(200.1)とを含む、 好ましくは波長が193nm以下、特に好ましくは波長nが100nm以下の対物光学系、特にマイクロリソグラフィー投影対物光学系であって、 前記投影対物光学系の中間像(22)を、前記第1部分鏡群(300.1)の前記第1の鏡(1000)と前記第2部分鏡群(200.1)の前記第4の鏡(1030)との間の光路に結像し、 前記第3の鏡は前記対象物面(10)から前記結像面(20)への光路において最後から2番目の鏡であり、 前記第3の鏡は凹面鏡で構成され、 前記第1の鏡、前記第2の鏡、前記第3の鏡及び前記第4の鏡は開口部を有し、 前記第1の鏡(1000)が第1の鏡直径d2を有し、前記第4の鏡(1030)が第2の鏡直径d1を有し、 中間像は、放射が入射する前記第4の鏡の第1の面から第1の距離Z1離間し、

IPC (5件)：

G02B 17/06 ,  G02B 13/18 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G02B 17/00

FI (6件)：

G02B17/06 ,  G02B13/18 ,  H01L21/30 515D ,  H01L21/30 531A ,  G03F7/20 521 ,  G02B17/00 A

Fターム (14件)：

2H087KA21 ,  2H087NA04 ,  2H087RA05 ,  2H087RA12 ,  2H087RA13 ,  2H087RA32 ,  2H087TA02 ,  2H087TA06 ,  5F146BA05 ,  5F146CB02 ,  5F146CB45 ,  5F146GA03 ,  5F146GA21 ,  5F146GB11

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-178207
  
• 特開昭63-178207
  
• 特開昭63-178207
  
• 特開昭63-178207