特許
J-GLOBAL ID：201203041964485770
室圧コントロールシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小林 義孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-189194
公開番号（公開出願番号）：特開2012-047380
出願日： 2010年08月26日
公開日（公表日）： 2012年03月08日
要約：
【課題】クリーンルームの室圧をスムーズかつ短時間に大気圧に戻すことができる室圧コントロールシステムを提供する。【解決手段】室圧コントロールシステム10Aは、クリーンルーム12の室圧コントロールを中断する場合において、クリーンルーム12の上下限室圧と測定室圧とを比較し、測定室圧が上下限室圧の範囲内にある場合、第1および第2ダンパ17,18のダンパ開度を開状態から次第に閉じて全閉にする閉操作を行い、測定室圧が上限室圧を上回った場合、第1ダンパ17のダンパ開度の閉操作を行いつつ第2ダンパ18のダンパ開度の閉操作を一時的に停止し、測定室圧が下限室圧を下回った場合、第2ダンパ18のダンパ開度の閉操作を行いつつ第1ダンパ17のダンパ開度の閉操作を一時的に停止する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
室圧コントロールが実施される少なくとも2つの対象室と、それら対象室に空気を給気する給気ファンと、それら対象室から空気を排気する排気ファンとを備え、それら対象室のうちの室圧コントロールを中断する中断対象室の室圧を大気圧に戻す室圧コントロールシステムにおいて、
前記室圧コントロールシステムが、前記中断対象室に給気される空気の流量を調整可能な分離用第1ダンパと、前記中断対象室から排気される空気の流量を調整可能な分離用第2ダンパと、前記中断対象室の室圧に基づいて前記分離用第1ダンパおよび分離用第2ダンパのダンパ開度を操作するコントローラと、前記中断対象室の室圧を測定してその測定室圧を前記コントローラに出力する第1室圧センサとを含み、
前記中断対象室の室圧コントロールを中断する場合において前記コントローラは、前記中断対象室の上下限室圧と前記第1室圧センサから出力された該中断対象室の測定室圧とを比較する室圧比較手段と、前記中断対象室の上下限室圧と測定室圧とを比較した結果、前記測定室圧が前記上下限室圧の範囲内にある場合、前記第1および第2ダンパのダンパ開度を開状態から次第に閉じて全閉にする閉操作を行う第1閉操作手段と、前記測定室圧が前記上限室圧を上回った場合、前記第1ダンパのダンパ開度の前記閉操作を行いつつ前記第2ダンパのダンパ開度の前記閉操作を一時的に停止する第2閉操作手段と、前記測定室圧が前記下限室圧を下回った場合、前記第2ダンパのダンパ開度の前記閉操作を行いつつ前記第1ダンパのダンパ開度の前記閉操作を一時的に停止する第3閉操作手段とを実行することを特徴とする室圧コントロールシステム。
IPC (2件)：
FI (3件)：
F24F7/007 B
, F24F11/04 Z
, F24F11/04 G
3L056BD07
, 3L061BA07
, 3L061BE02
, 3L061BF08
, 3L260CB90
, 3L260EA13
, 3L260HA10
