特許
J-GLOBAL ID:201203042407343218
透明電極
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
藤田 隆
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-209553
公開番号(公開出願番号):特開2012-234623
出願日: 2009年09月10日
公開日(公表日): 2012年11月29日
要約:
【課題】透明電極に用いられる透明導電性酸化物は導電性を上げるための一つの手法として膜厚を上げることがあるが、膜厚を上げると透過率が低下するという課題があり、膜厚を上げることなく導電性を向上する必要があった。【解決手段】基材上に形成された透明電極であって、該透明電極が、基材上に炭素系薄膜層が形成されており、さらにその上に透明導電性化合物層が形成されており、且つ該透明導電性化合物層はその一部が炭素系薄膜に入り込んでいることを特徴とする透明電極。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基材上に形成された透明電極であって、
該透明電極が、基材上に炭素系薄膜層が形成されており、さらにその上に透明導電性化合物層が形成されており、且つ該透明導電性化合物層はその一部が炭素系薄膜に入り込んでいることを特徴とする透明電極。
IPC (4件):
H01B 5/14
, C23C 14/06
, C23C 14/08
, H01L 31/04
FI (7件):
H01B5/14 A
, C23C14/06 F
, C23C14/08 D
, C23C14/08 K
, H01L31/04 H
, H01L31/04 M
, C23C14/06 N
Fターム (29件):
4K029AA06
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA34
, 4K029BA50
, 4K029BB02
, 4K029BC09
, 4K029CA05
, 4K029CA06
, 4K029DC02
, 4K029DC05
, 4K029DC34
, 5F051AA02
, 5F051AA05
, 5F051AA10
, 5F051CB27
, 5F051FA02
, 5F051FA30
, 5F051GA04
, 5F151AA02
, 5F151AA05
, 5F151AA10
, 5F151CB27
, 5F151FA02
, 5F151FA30
, 5F151GA04
, 5G307FA01
, 5G307FB01
, 5G307FC10
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