特許
J-GLOBAL ID：201203042920720990
成膜方法及び硬質被膜被覆部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 三彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-018547
公開番号（公開出願番号）：特開2012-158793
出願日： 2011年01月31日
公開日（公表日）： 2012年08月23日
要約：
【課題】 基材と最表面層に被膜される炭化バナジウム(VC)膜との間に中間層としてバナジウム系金属とは異なる異種金属であるTiの窒化物膜又は炭窒化物膜を形成することにより、耐摩耗性に優れた硬度及び十分な密着性を得ることができる成膜方法及び耐摩耗性部材を提供する。【解決手段】 VC膜をイオンプレーティング法によって基材に成膜するための成膜方法であって、前記基材の表面にTiN膜又はTiCN膜を中間層として成膜し、前記基材に前記中間層を介して前記VC膜を最表面層として成膜する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
VC膜をイオンプレーティング法によって基材に成膜するための成膜方法であって、
前記基材の表面にTiN膜又はTiCN膜を中間層として成膜し、前記基材に前記中間層を介して前記VC膜を最表面層として成膜することを特徴とする成膜方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C14/06 P
, B23B27/14 A
3C046FF09
, 3C046FF10
, 3C046FF16
, 4K029AA02
, 4K029BA54
, 4K029BA55
, 4K029BA58
, 4K029BB02
, 4K029BC02
, 4K029BD05
, 4K029CA04
, 4K029CA13
, 4K029FA05
