特許
J-GLOBAL ID:201203045239599936

ガス微流動検出方法、ガス漏れ検査方法、ガス漏れ検査装置及び超音波流量計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松浦 弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-256479
公開番号(公開出願番号):特開2012-107966
出願日: 2010年11月17日
公開日(公表日): 2012年06月07日
要約:
【課題】構造の大型化及び製品価格の上昇を抑えつつ微少なガス流動を検出することが可能なガス微流動検出方法、ガス漏れ検査方法、ガス漏れ検査装置及び超音波流量計の提供を目的とする。【解決手段】本発明の超音波流量計10は、ガス管90の途中にフローセル20が接続され、その内部空間である計測管路22に第1のガスを滞留させると共に、計測管路22の外部から第1のガスとは超音波の伝搬速度が異なる第2のガスを注入しかつ滞留させた状態にして、超音波の伝搬速度を所定のモニター期間に亘って計測する。次いで、第2のガスを滞留させてからの時間経過に伴った伝搬速度の推移(実測推移データ)と、第1のガスの流量を0にして第2のガスを自然拡散させた場合の伝搬速度の推移(基準推移データ)とを比較してガス漏れの有無を判別する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
第1のガスが滞留した流路管又は容器における内部空間の一部を、1対の超音波送受波器の間で超音波を伝搬させるための超音波伝搬経路とし、 前記第1のガスとは超音波の伝搬速度が異なる第2のガスを前記流路管又は前記容器の外部から前記超音波伝搬経路に注入しかつ滞留させた状態にして、その超音波伝搬経路を伝搬する超音波の伝搬時間又は伝搬速度を計測し、 その伝搬時間又は伝搬速度の時間経過に伴った推移と、実測又は演算にて求められる前記第1のガスの流量を0にした場合の前記第2のガスの自然拡散による前記伝搬時間又は伝搬速度の時間経過に伴った基準推移との比較に基づいて、前記第1のガスの流れの有無、流量、或いは、前記第1のガスの漏れを検出することを特徴とするガス微流動検出方法。
IPC (3件):
G01F 3/22 ,  G01F 1/00 ,  G01F 1/66
FI (3件):
G01F3/22 B ,  G01F1/00 T ,  G01F1/66 Z
Fターム (9件):
2F030CA03 ,  2F030CB02 ,  2F030CC13 ,  2F030CF05 ,  2F030CF10 ,  2F030CF11 ,  2F035DA14 ,  2F035DA19 ,  2F035DA22

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