特許
J-GLOBAL ID：201203046113021854
バンプコイニングヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
糟谷 敬彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-247502
公開番号（公開出願番号）：特開2012-099719
出願日： 2010年11月04日
公開日（公表日）： 2012年05月24日
要約：
【課題】バンプコイニングヘッドのバンププレス冶具と電子部品の面との平行調整が容易なバンプコイニングヘッドを提供する。【解決手段】基板保持台90に保持された電子部品5のバンプ6の頂部を押圧するバンプコイニングヘッド1であって、バンプコイニングヘッド1は、取付部材10、20と、バンププレス冶具80と、バンププレス冶具の下面の角度を調整する角度調整部材を有する。角度調整部材は、上部プレート30と、上部プレートの下部に位置する下部プレート70と、バンププレス冶具を取付ける下部保持部材83と、上部プレート10と下部プレート70を取付け、下部プレート70の中心を保持して上部プレート10に対して所定角度回動可能に保持するとともに、電子部品5が保持された基板保持台90とバンププレス冶具80の下面81が平行に位置したときにその角度を維持する角度保持部材76を有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子部品の表面に形成された複数のバンプの頂部を平坦な面に形成するバンプ平坦化装置の先端に取付けられて、基板保持台に保持された上記電子部品のバンプの頂部を押圧するバンプコイニングヘッドであって、
該バンプコイニングヘッドは、上記バンプ平坦化装置にバンプコイニングヘッドを取付ける取付部材と、上記電子部品のバンプの頂部に当接するバンププレス冶具と、該バンププレス冶具の下面の角度を調整する角度調整部材を有し、
該角度調整部材は、上記取付部材の下面に取付けられる上部プレートと、該上部プレートの下部に位置する下部プレートと、該下部プレートの下面に上記バンププレス冶具を取付ける下部保持部材と、上記上部プレートと上記下部プレートを取付け、上記下部プレートの中心部を保持して上記上部プレートに対して所定角度回動可能に保持するとともに、上記電子部品が保持された上記基板保持台と上記バンププレス冶具の下面が平行に位置したときにその角度を維持する角度保持部材を有することを特徴とするバンプコイニングヘッド。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L21/60 311Q
, H01L21/92 604A
, H01L21/92 604Z
, H05K3/34 505A
5E319AA03
, 5E319AB05
, 5E319AC01
, 5E319BB04
, 5E319CC33
, 5E319CD04
, 5E319CD26
, 5E319GG03
, 5F044LL01
, 5F044QQ02
