特許

J-GLOBAL ID：201203046288996289

画像処理装置、及び画像処理を行うためのコンピュータープログラム

発明者： 松岡 良一 ,  三藤 啓明
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-041109
公開番号（公開出願番号）：特開2012-177632
出願日： 2011年02月28日
公開日（公表日）： 2012年09月13日
要約：

【課題】本発明は、設計データ、或いはシミュレーション画像に基づいて、実画像に近いパターンを形成する画像処理装置の提供を目的とする。【解決手段】上記目的を達成するために、半導体素子の設計データに基づいて、荷電粒子線装置の動作条件を設定する画像処理部を備えた画像処理装置であって、荷電粒子線装置の装置条件情報,パターンの種類、及びパターンの部位毎のパターン情報の複数の組み合わせを記憶するライブラリにアクセスし、装置条件、及びパターンの種類の選択に基づいて、パターンの部位毎のパターン情報を用いた各部位の合成画像を形成する画像処理装置を提案する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

半導体素子の設計データに基づいて、荷電粒子線装置の動作条件を設定する画像処理部を備えた画像処理装置において、 当該画像処理部は、荷電粒子線装置の装置条件情報、パターンの種類、及びパターンの部位毎のパターン情報の複数の組み合わせを記憶するライブラリにアクセス可能に構成され、前記装置条件、及びパターンの種類の選択に基づいて、前記パターンの部位毎のパターン情報を用いた各部位の合成画像を形成する合成画像形成部を備えたことを特徴とする画像処理装置。

IPC (5件)：

G01B 15/04 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66 ,  G06T 1/00

FI (5件)：

G01B15/04 K ,  H01J37/22 502H ,  H01J37/28 B ,  H01L21/66 J ,  G06T1/00 300

Fターム (39件)：

2F067AA16 ,  2F067AA54 ,  2F067BB01 ,  2F067BB04 ,  2F067CC16 ,  2F067CC17 ,  2F067DD07 ,  2F067FF15 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067KK08 ,  2F067QQ03 ,  2F067RR00 ,  2F067RR25 ,  2F067RR30 ,  2F067RR40 ,  2F067RR44 ,  4M106BA02 ,  4M106CA39 ,  4M106DB05 ,  4M106DB20 ,  4M106DJ15 ,  4M106DJ39 ,  5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE08 ,  5B057CH07 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC33 ,  5C033UU05 ,  5C033UU08 ,  5C033UU10