樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-275661
公開番号（公開出願番号）：特開2012-153878
出願日： 2011年12月16日
公開日（公表日）： 2012年08月16日
要約：

【課題】優れたCD均一性のレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供する。【解決手段】式(aa)で表される構造単位(aa)と、式(ab)で表される構造単位(ab)とを有する樹脂及びこの樹脂を含有するレジスト組成物。[式中、Raa1及びRab1は水素原子又はメチル基;Raa2は、水素原子又はフッ化アルキル基;Raa3はフッ化アルキル基;Raa4は、酸の作用により、酸素原子との間の結合〔O-Raa4〕が切断されない原子又は基;naa1は1又は2を表す。]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(aa)で表される構造単位(aa)と、式(ab)で表される構造単位(ab)とを有する樹脂。

IPC (4件)：

C08F 220/28 , G03F 7/004 , G03F 7/039 , H01L 21/027

FI (5件)：

C08F220/28 , G03F7/004 503A , G03F7/039 601 , G03F7/004 501 , H01L21/30 502R

Fターム (43件)：

2H125AF18P , 2H125AF38P , 2H125AH16 , 2H125AH17 , 2H125AH19 , 2H125AH23 , 2H125AH25 , 2H125AJ14X , 2H125AJ64X , 2H125AJ65X , 2H125AJ68X , 2H125AJ69X , 2H125AM22P , 2H125AM91P , 2H125AM94P , 2H125AM99P , 2H125AN38P , 2H125AN39P , 2H125AN45P , 2H125AN54P , 2H125AN65P , 2H125BA02P , 2H125BA26P , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125FA03 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100BA03Q , 4J100BA11Q , 4J100BA15Q , 4J100BA20P , 4J100BA20Q , 4J100BB18P , 4J100BB18Q , 4J100BC04Q , 4J100BC53Q , 4J100CA04 , 4J100DA01 , 4J100FA19 , 4J100JA38

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