特許
J-GLOBAL ID：201203047368840170
インクジェット記録ヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
宮崎 昭夫
, 石橋 政幸
, 緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-242246
公開番号（公開出願番号）：特開2012-091449
出願日： 2010年10月28日
公開日（公表日）： 2012年05月17日
要約：
【課題】撥水材の凝集による吐出口が設けられた部材の凹みを抑え、撥水性の優れた吐出口面を有し、高密度、高品質な印字を実現するインクジェット記録ヘッドを提供する。【解決手段】基板上に光カチオン重合性樹脂材料を含む光カチオン重合性樹脂層を形成する工程と、光カチオン重合性樹脂層をパターン露光し吐出口を含む微細パターン潜像を形成する工程と、光カチオン重合性樹脂層上に光カチオン重合性樹脂材料と反応し結合を形成し得る撥水材を含む撥水層を形成する工程と、光カチオン重合性樹脂層を現像し光カチオン重合性樹脂層の非露光部を除去し、非露光部分に対応する撥水層部を除去し微細パターンを形成する工程と、加熱処理により光カチオン重合性樹脂層を硬化して微細パターンが設けられた部材とし、光カチオン重合性樹脂材料と撥水材との反応を促進させる工程とを含むインクジェット記録ヘッドの製造方法。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板と、該基板の上に形成されたインクを吐出するための吐出口が設けられた部材と、該部材の上に形成された撥水層と、を備えるインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
基板の上に光カチオン重合性樹脂材料を含む光カチオン重合性樹脂層を形成する工程と、
前記光カチオン重合性樹脂層をパターン露光し、吐出口を含む微細パターンの潜像を形成する工程と、
前記潜像を形成した光カチオン重合性樹脂層の上に、前記光カチオン重合性樹脂材料と反応して結合を形成し得る撥水材を含む撥水層を形成する工程と、
光カチオン重合性樹脂層を現像することにより、光カチオン重合性樹脂層の非露光部分を除去し、かつ、該非露光部分に対応する撥水層部分を除去し、前記微細パターンを形成する工程と、
加熱処理により、前記光カチオン重合性樹脂層を硬化して前記微細パターンが設けられた部材とし、かつ前記光カチオン重合性樹脂材料と撥水材との反応を促進させる工程と、を含むインクジェット記録ヘッドの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
2C057AF33
, 2C057AF93
, 2C057AP13
, 2C057AP60
