特許

J-GLOBAL ID：201203048660939796

光偏向器

発明者： 谷 雅直
出願人/特許権者： スタンレー電気株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-065578
公開番号（公開出願番号）：特開2012-203079
出願日： 2011年03月24日
公開日（公表日）： 2012年10月22日
要約：

【課題】 反射面を有するミラー部と、これを駆動する圧電アクチュエータとを備え、二次元方向に駆動可能で小型化できる光偏向器を提供する。【解決手段】 光偏向器1は、ミラー部2と、駆動電圧の印加により屈曲変形する第1圧電体61a〜61d及び第2圧電体62a〜62dを支持する圧電カンチレバー31a〜31dを有する一対の圧電アクチュエータ3a,3bとを備える。一対の圧電アクチュエータ3a,3bは、ミラー部2を挟んで対向するように配置される。第1圧電体61a〜61dに電圧が印加されると、ミラー部2を複数の圧電カンチレバー31a〜31dの並び方向に平行な第1軸xの周りに駆動し、第2圧電体62a〜62dに電圧が印加されると、ミラー部2を第1軸xと直交する第2軸yの周りに駆動する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

反射面を有するミラー部と、該ミラー部を駆動する圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータに電圧を印加するための複数の電極とを備える光偏向器であって、 前記圧電アクチュエータは、前記ミラー部を挟んで対向するように一対配置され、各圧電アクチュエータの一端が前記ミラー部に連結され、 前記各圧電アクチュエータは、 駆動電圧が印加されることにより屈曲変形する圧電体と、 前記圧電体を支持し、該圧電体が屈曲変形するときに共に屈曲変形する複数の圧電カンチレバーとを備え、 前記複数の圧電カンチレバーは、各圧電カンチレバーの両端部が隣り合うように並んで配置されて、各々の屈曲変形を累積するようにそれぞれ隣り合う圧電カンチレバーに対し折り返すように端部が機械的に連結され、各圧電カンチレバーは、各圧電カンチレバーの並び方向に直交する方向に屈曲変形するように形成され、 前記圧電体は、前記各圧電カンチレバーで支持される第1圧電体と第2圧電体とからなり、 前記複数の電極は、前記第1圧電体と前記第2圧電体とにそれぞれ独立に電圧を印加できるように構成され、 前記第1圧電体に電圧が印加されることにより、前記ミラー部を前記複数の圧電カンチレバーの並び方向に平行な第1軸の周りに駆動し、 前記第2圧電体に電圧が印加されることにより、前記ミラー部を前記第1軸と直交する第2軸の周りに駆動することを特徴とする光偏向器。

IPC (2件)：

G02B 26/10 ,  H04N 1/113

FI (3件)：

G02B26/10 104 ,  G02B26/10 C ,  H04N1/04 104Z

Fターム (13件)：

2H045AB13 ,  2H045AB23 ,  2H045AB24 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73 ,  2H045AB81 ,  2H045BA13 ,  2H045BA18 ,  5C072AA03 ,  5C072BA01 ,  5C072HA01 ,  5C072HA14 ,  5C072XA05