三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 西和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-240961
公開番号（公開出願番号）：特開2012-093234
出願日： 2010年10月27日
公開日（公表日）： 2012年05月17日
要約：

【課題】計測時間を短縮化でき、装置構成が複雑化することを防ぐ。【解決手段】三次元形状測定装置1は、測定対象物11上に投影パターンを照射する投影部13と、測定対象物11を撮像する撮像部14と、投影部13に縞パターンを照射させ、照射させる縞パターンの位相を変化させながら、撮像部14に測定対象物11を繰り返し撮像させるとともに、測定対象物11上に照射させた縞パターンの画像を複数取得する第1の制御部と、第1の領域のみに所定の光を照射させて撮像した第1の画像と、第2の領域のみに所定の光を照射させて撮像した第2の画像とを取得する第2の制御部と、第1の画像と第2の画像との差分に基づいて、縞パターンに含まれる縞の夫々を識別する基準線を検出する基準線検出部と、基準線に基づいて、測定対象物11の三次元形状を測定する形状測定部と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

測定対象物上に投影パターンを照射する投影部と、前記測定対象物を撮像する撮像部と、前記投影部に縞パターンを照射させ、当該照射させる縞パターンの位相を変化させながら、前記撮像部に前記測定対象物を繰り返し撮像させるとともに、前記測定対象物上に照射させた前記縞パターンの画像を複数取得する第1の制御部と、前記測定対象物上の互いに隣接する第1の領域と第2の領域であって、互いの境界線が前記縞パターンの縞と平行となる第1の領域と第2の領域のうち、前記第1の領域のみに所定の光を前記投影部により照射させるとともに前記撮像部により前記測定対象物を撮像させた第1の画像と、前記第2の領域のみに前記所定の光を前記投影部により照射させるとともに前記撮像部により前記測定対象物を撮像させた第2の画像とを取得する第2の制御部と、前記第2の制御部が取得した前記第1の画像と前記第2の画像との差分に基づいて、前記測定対象物に照射された縞パターンの縞のうちから、縞パターンに含まれる縞の夫々を識別する基準線を検出する基準線検出部と、前記基準線検出部が検出した基準線に基づいて、前記第1の制御部が取得した複数の縞パターンの画像から算出された位相分布に対して位相接続し、当該位相接続した位相分布に基づいて、前記測定対象物の三次元形状を測定する形状測定部と、を備えることを特徴とする三次元形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/25 , G06T 1/00

FI (2件)：

G01B11/25 H , G06T1/00 315

Fターム (33件)：

2F065AA17 , 2F065AA24 , 2F065AA51 , 2F065AA53 , 2F065AA58 , 2F065BB05 , 2F065BB27 , 2F065DD06 , 2F065FF01 , 2F065FF41 , 2F065GG02 , 2F065GG07 , 2F065GG24 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ19 , 2F065LL02 , 2F065PP04 , 2F065PP12 , 2F065PP13 , 2F065QQ04 , 2F065QQ13 , 2F065QQ23 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ28 , 2F065QQ29 , 2F065QQ31 , 2F065SS13 , 5B057DA20 , 5B057DB02 , 5B057DC02

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