特許
J-GLOBAL ID:201203049694593062

耐食性摺動部材

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-200322
公開番号(公開出願番号):特開2012-041629
出願日: 2010年08月20日
公開日(公表日): 2012年03月01日
要約:
【課題】 耐摩耗性と耐食性を兼ね備えた炭素系被膜を形成する技術を提供し、摺動性と耐食性に優れた耐食性摺動部材の提供を課題とする。【解決手段】 摺動部材表面から炭素系被膜の表面に向かってシリコン添加量を減少させる一方、前記摺動部材表面から炭素系被膜表面に向かってフッ素添加量を増大させた傾斜機能皮膜を形成する、又は/及びシリコン元素の添加量が10原子%から30原子%、フッ素の添加量が10原子%以下の第1の炭素系被膜層と、シリコン元素の添加量が5原子%から20原子%、フッ素元素の添加量が10原子%から30原子%の第2の炭素系被膜層を積層する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
部材表面にシリコン元素及びフッ素元素を含む炭素系被膜を形成してなることを特徴とする耐食性摺動部材。
IPC (1件):
C23C 16/26
FI (1件):
C23C16/26
Fターム (11件):
4K030AA04 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030BA27 ,  4K030BA28 ,  4K030BA29 ,  4K030CA02 ,  4K030DA03 ,  4K030FA01 ,  4K030KA18 ,  4K030LA23

前のページに戻る