塗布型拡散剤組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：森下賢樹 , 青木武司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-262967
公開番号（公開出願番号）：特開2012-114298
出願日： 2010年11月25日
公開日（公表日）： 2012年06月14日
要約：

【課題】不純物拡散成分を含む塗布型拡散剤組成物について、半導体基板に塗布したときに十分な膜厚を得ることができ、かつ段差を有する基板に塗布した後、焼成、拡散を行った場合にクラックが生じにくくさせる。【解決手段】本発明のある態様の拡散剤組成物は、下記一般式(1)で表されるアルコキシシランを出発原料とする縮合生成物(A)と、不純物拡散成分(C)と、有機溶剤(D)とを含有する。【化1】(1)式中、R1、R2は有機基であり、複数個のR1、R2は、同一でも異なっていてもよい。mは0、1、もしくは2である。ただし、m=0の場合、縮合化合物(A)は複数の(1)から形成されていて、m=1もしくは2のアルコキシシランを必ず含む。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

半導体基板への不純物拡散成分の拡散に用いられる拡散剤組成物であって、下記一般式(1)で表されるアルコキシシランを出発原料とする縮合生成物(A)と、不純物拡散成分(C)と、有機溶剤(D)と、を含有することを特徴とする塗布型拡散剤組成物。

IPC (1件)：

H01L 21/225

FI (2件)：

H01L21/225 D , H01L21/225 R

Fターム (4件)：

5F151BA11 , 5F151CB20 , 5F151DA03 , 5F151GA04

引用特許：

審査官引用 (4件)

インクジェット用拡散剤組成物、当該組成物を用いた電極及び太陽電池の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-101053 出願人：東京応化工業株式会社
マスク材組成物、不純物拡散層の形成方法、および太陽電池
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-237107 出願人：東京応化工業株式会社
マスキングペースト、その製造方法およびマスキングペーストを用いた太陽電池の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-234466 出願人：シャープ株式会社

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