特許

J-GLOBAL ID：201203050098179974

MEMSデバイス

発明者： 明石 照久 ,  藤吉 基弘 ,  船橋 博文 ,  畑 良幸 ,  大村 義輝 ,  野々村 裕
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-287764
公開番号（公開出願番号）：特開2012-135819
出願日： 2010年12月24日
公開日（公表日）： 2012年07月19日
要約：

【課題】 基板と可動構造体を備えるMEMSデバイスにおいて、長期間にわたってスティッキングを確実に防止することが可能な技術を提供する。【解決手段】 本発明は、基板と可動構造体を備えるMEMSデバイスとして具現化される。その可動構造体は、基板の上方に間隙を隔てて配置される可動部と、絶縁膜を介して基板に固定される固定部と、可動部と固定部を連結する支持梁を備えている。そのMEMSデバイスは、可動構造体の下面側に、可動構造体から連続的に形成された第1凸部を有している。そのMEMSデバイスは、基板の上面側に、基板から連続的に形成された第2凸部を有している。そのMEMSデバイスでは、第1凸部と第2凸部がほぼ同じ大きさで、互いに対向して配置されている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

基板と可動構造体を備えるMEMSデバイスであって、 可動構造体が、基板の上方に間隙を隔てて配置される可動部と、絶縁膜を介して基板に固定される固定部と、可動部と固定部を連結する支持梁を備えており、 可動構造体の下面側に、可動構造体から連続的に形成された第1凸部を有し、 基板の上面側に、基板から連続的に形成された第2凸部を有し、 第1凸部と第2凸部がほぼ同じ大きさで、互いに対向して配置されているMEMSデバイス。

IPC (4件)：

B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  H01L 29/84 ,  G01P 15/125

FI (4件)：

B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H01L29/84 Z ,  G01P15/125 Z

Fターム (29件)：

2F105BB15 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  3C081AA02 ,  3C081BA09 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081CA03 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081DA04 ,  3C081EA02 ,  3C081EA08 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA11 ,  4M112DA15 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA18 ,  4M112FA20