特許

J-GLOBAL ID：201203050199635466

露光ヘッドを含む露光装置及びその制御方法

発明者： 朴 相 玄 ,  張 尚 敦 ,  李 羲 國
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (3件)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-162135
公開番号（公開出願番号）：特開2012-028783
出願日： 2011年07月25日
公開日（公表日）： 2012年02月09日
要約：

【課題】 露光ヘッドを含む露光装置及びその制御方法を開示する。【解決手段】 複数のビーム測定器を有するステージと、第1のセットの露光ヘッド及び第2のセットの露光ヘッドを有する露光ヘッド部と、を含む露光装置の動作方法において、前記ステージを移動させ、前記複数のビーム測定器の第1のビーム測定器と、第1の露光ヘッドの位置とを一致させることによって、第1のセットの露光ヘッドの第1の露光ヘッドの位置を測定すること;前記測定された第1の露光ヘッドの位置を基準位置として設定すること;及び前記基準位置に対する前記第2のセットの露光ヘッドの位置を測定することを含む露光装置の動作方法を構成する。【選択図】 図8

請求項（抜粋）：

複数のビーム測定器を有するステージと、第1のセットの露光ヘッド及び第2のセットの露光ヘッドを有する露光ヘッド部と、を含む露光装置の動作方法において、 前記ステージを移動させ、前記複数のビーム測定器の第1のビーム測定器と、第1の露光ヘッドの位置とを一致させることによって、第1のセットの露光ヘッドの第1の露光ヘッドの位置を測定すること; 前記の測定された第1の露光ヘッドの位置を基準位置として設定すること;及び 前記基準位置に対する前記第2のセットの露光ヘッドの位置を測定することを含む光装置の動作方法。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (1件)：

H01L21/30 529

Fターム (9件)：

5F146BA06 ,  5F146BA07 ,  5F146CB34 ,  5F146CB35 ,  5F146CC01 ,  5F146DA01 ,  5F146DA30 ,  5F146DB05 ,  5F146DC12