特許
J-GLOBAL ID：201203050492066239
サセプタおよび種結晶の成長方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
速水 進治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-181237
公開番号（公開出願番号）：特開2012-041206
出願日： 2010年08月13日
公開日（公表日）： 2012年03月01日
要約：
【課題】安定的に単結晶を得ることができるサセプタおよび種結晶の成長方法を提供する。【解決手段】種結晶2を保持するサセプタであって、基材11と、この基材11に設けられ、種結晶2を保持する種結晶保持部12とを有し、種結晶保持部12が、基材11に対して着脱可能に設けられている。また、種結晶保持部12は、基材11に立設されており、種結晶保持部12の種結晶2が配置される部分の基材11からの高さが調整可能である。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
種結晶を保持するサセプタであって、
基材と、この基材に設けられ、種結晶を保持する種結晶保持部とを有し、
前記種結晶保持部が、前記基材に対して着脱可能に設けられたサセプタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
4G077AA02
, 4G077BE15
, 4G077DB05
, 4G077EG11
, 4G077EG25
, 4G077HA02
, 4G077HA06
, 4G077HA12
, 4G077TA01
, 4G077TA04
, 4G077TB03
, 4G077TF01
, 4G077TF04
, 4G077TK01
