特許

J-GLOBAL ID：201203050543581648

インプリント装置、インプリント方法、および、物品の製造方法

発明者： 酒井 啓太 ,  田村 泰之
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高岡 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-280178
公開番号（公開出願番号）：特開2012-129381
出願日： 2010年12月16日
公開日（公表日）： 2012年07月05日
要約：

【課題】生産性の点で有利なインプリント装置を提供する。【解決手段】基板5上の未硬化樹脂を型により成形して硬化させ、前記基板5上に硬化した樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、前記基板5に対して前記未硬化樹脂と溶媒との混合液を吐出する吐出手段7と、前記基板5上に吐出された前記混合液から前記溶媒を蒸発させる蒸発手段9と、を備え、前記吐出手段7は、前記基板5上で液滴と液滴とが接触するように前記混合液を吐出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上の未硬化樹脂を型により成形して硬化させ、前記基板上に硬化した樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、 前記基板に対して前記未硬化樹脂と溶媒との混合液を吐出する吐出手段と、 前記基板上に吐出された前記混合液から前記溶媒を蒸発させる蒸発手段と、を備え、 前記吐出手段は、前記基板上で液滴と液滴とが接触するように前記混合液を吐出する、 ことを特徴とするインプリント装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  B29C 59/02

FI (2件)：

H01L21/30 502D ,  B29C59/02 Z

Fターム (12件)：

4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PJ06 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28 ,  5F146AA28