特許

J-GLOBAL ID：201203050613895386

汚染物質をトラップする方法及び装置

発明者： フランケン,ヨハネス,クリスティアーン,レオナルドス ,  バニエ,バディム,エヴィジェンエビッチ ,  ワシンク,アーノウド,コルネリス
出願人/特許権者： エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.
代理人 (2件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-231451
公開番号（公開出願番号）：特開2012-028813
出願日： 2011年10月21日
公開日（公表日）： 2012年02月09日
要約：

【課題】改良されたデブリ緩和システムを備える装置及び方法を提供する。【解決手段】放射ビームを生成する放射源から発散する汚染物質をトラップする、放射ビームのパスにおける汚染物質トラップ装置が開示される。汚染物質トラップ装置は、放射ビームの伝搬の方向に対して実質的に平行なチャネルを規定する複数のチャネル形成要素を有するロータであって、帯電可能材料を含み、放射源の動作の結果として帯電されるロータと、ロータをロータ搬送構造に対して回転可能に保持するベアリングとを含み、(i)ロータの放電を制御または方向転換させるか、(ii)ロータの放電を抑制するか、または(iii)(i)および(ii)の両方を行う。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

放射ビームを生成する放射源から発散する汚染物質をトラップする、前記放射ビームのパスにおける汚染物質トラップ装置であって、 前記放射ビームの伝搬の方向に対して実質的に平行なチャネルを規定する複数のチャネル形成要素を有するロータであって、帯電可能材料を含み、前記放射源の動作の結果として帯電されるロータと、 前記ロータをロータ搬送構造に対して回転可能に保持するベアリングとを含み、 (i)前記ロータの放電を制御または方向転換させるか、(ii)前記ロータの放電を抑制するか、または(iii)(i)および(ii)の両方を行う、汚染物質トラップ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (2件)：

H01L21/30 531S ,  G03F7/20 521

Fターム (2件)：

5F146GA21 ,  5F146GC13