特許
J-GLOBAL ID：201203050753055698
走査型顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲本 義雄
, 西川 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-002931
公開番号（公開出願番号）：特開2012-145687
出願日： 2011年01月11日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：
【課題】スキャナを用いて照明光による走査を行ないながら標本を観察する場合に、スキャナの位置と対物レンズの瞳位置とのずれにより生じる影響を低減させる。【解決手段】光源22からの照明光は、コリメートレンズ23乃至第1対物レンズ30を通って標本12に照射される。このとき、走査ユニット27により照明光が偏向されることで、照明光で標本12の観察面が走査される。照明光を互いに直交する2方向に偏向させようとすると、走査ユニット27を構成する2つの走査ミラーのうち、少なくとも一方は第1対物レンズ30と共役な関係とはならなくなるので、照明光により第1対物レンズ30の瞳が満たされなくなる場合がある。そこで、ビームエクスパンダ24により照明光のビーム幅を広げることにより、照明光の偏向角度によらず常に瞳が満たされるようになる。本発明は、走査型顕微鏡に適用することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
観察対象の標本に照射する照明光を射出する光源と、
前記光源からの前記照明光を偏向させて、対物レンズを介して前記照明光を前記標本に照射することで、前記標本上で前記照明光を所定方向に走査させる走査手段と、
前記光源と前記走査手段との間に配置され、前記走査手段による前記照明光の偏向角度によらず、前記照明光により前記対物レンズの瞳が満たされるように、少なくとも一方向に前記照明光のビーム幅を広げるビームエクスパンダと
を備えることを特徴とする走査型顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (21件)：
2H052AA08
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC19
, 2H052AC21
, 2H052AC27
, 2H052AC34
, 2H052AD34
, 2H052AF06
, 2H052AF14
, 2H087KA09
, 2H087LA26
, 2H087PA01
, 2H087PA17
, 2H087PB01
, 2H087QA03
, 2H087QA07
, 2H087QA12
, 2H087QA32
, 2H087RA05
, 2H087RA13
