特許
J-GLOBAL ID：201203050782530338
投影リソグラフィのための照明光学ユニット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
辻居 幸一
, 熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 西島 孝喜
, 須田 洋之
, 上杉 浩
, 岸 慶憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-042407
公開番号（公開出願番号）：特開2012-169634
出願日： 2012年02月10日
公開日（公表日）： 2012年09月06日
要約：
【課題】照明光学ユニット、照明系、投影露光装置、微細構造化又はナノ構造化構成要素を生成する生成方法、及び生成された微細構造化構成要素又はナノ構造化構成要素を提供する。【解決手段】結像される物体を配置することができる物体視野を照明光で照明する投影リソグラフィのための照明光学ユニットは、複数の視野ファセットを有する視野ファセットミラーを有する。照明光学ユニットの瞳ファセットミラーは、複数の瞳ファセットを有する。瞳ファセットは、瞳ファセットに対して個々に割り当てられた視野ファセットを物体視野に結像するように機能する。照明光学ユニットの個々のミラーアレイは、個々に従動方式で傾斜可能な個々のミラーを有する。個々のミラーアレイは、視野ファセットミラーの上流の照明光ビーム経路に配置される。これは、照明光学ユニットによって柔軟に構成可能で所定の値に容易に適応可能な照明をもたらす。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の視野ファセット(22)を有する視野ファセットミラー(20)を含み、
複数の瞳ファセット(23)を有する瞳ファセットミラー(21)を含み、
前記瞳ファセット(23)が、該瞳ファセット(23)に個々にそれぞれ割り当てられた前記視野ファセット(22)を物体視野(5)の中に結像するように機能する、
結像される物体(7)を配置することができる物体視野(5)を照明光で照明するための投影リソグラフィのための照明光学ユニット(4)であって、
個々に従動方式で傾斜させることができる個々のミラー(18)を有し、視野ファセットミラー(20)の上流の照明光ビーム経路に配置された個々のミラーアレイ(17)、
を特徴とする照明光学ユニット。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, G02B 19/00
H01L21/30 531A
, G03F7/20 521
, G02B19/00
2H052BA03
, 2H052BA09
, 2H052BA12
, 5F146GA03
, 5F146GA21
, 5F146GA27
, 5F146GB11
, 5F146GC12
