特許
J-GLOBAL ID：201203050945482263
屈折率分布計測方法、屈折率分布計測装置および光学素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
藤元 亮輔
, 水本 敦也
, 平山 倫也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-270214
公開番号（公開出願番号）：特開2012-117999
出願日： 2010年12月03日
公開日（公表日）： 2012年06月21日
要約：
【課題】被検物の屈折率分布を正確に算出する。【解決手段】計測方法は、第1および第2の媒質中の被検物に参照光を入射させて第1および第2の透過波面をそれぞれ計測する透過波面計測ステップと、第1および第2の媒質中に配置した基準被検物に参照光を入射させたときに得られる第1および第2の基準透過波面を取得する基準透過波面取得ステップと、各透過波面と各基準透過波面とを用いて被検物の屈折率分布を算出する屈折率分布算出ステップとを有する。該方法は、被検物の配置状態の変化に対する収差敏感度と被検物の複数の配置状態にて計測された第1および第2の透過波面とから、計測時における各配置状態での配置誤差を算出する。基準透過波面取得ステップでは、基準被検物が第1および第2の媒質中のそれぞれにおける配置誤差を含む配置状態にあるときに得られる第1および第2の基準透過波面を取得する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検物の屈折率とは異なる第1の屈折率を有する第1の媒質と、前記被検物の屈折率および前記第1の屈折率とは異なる第2の屈折率を有する第2の媒質とを用いて、前記被検物の屈折率分布を求める屈折率分布計測方法であって、
前記第1の媒質中に配置した前記被検物に参照光を入射させて該被検物の透過波面である第1の透過波面を計測するとともに、前記第2の媒質中に配置した前記被検物に前記参照光を入射させて該被検物の透過波面である第2の透過波面を計測する透過波面計測ステップと、
前記第1の媒質中に配置した、既知の形状および屈折率分布を有する基準被検物に前記参照光を入射させたときに得られる前記基準被検物の透過波面である第1の基準透過波面を取得するとともに、前記第2の媒質中に配置した前記基準被検物に前記参照光を入射させたときに得られる該基準被検物の前記透過波面である第2の基準透過波面を取得する基準透過波面取得ステップと、
前記第1および第2の透過波面と前記第1および第2の基準透過波面とを用いて、前記被検物の形状成分を除去した前記屈折率分布を算出する屈折率分布算出ステップとを有し、
前記透過波面計測ステップにおいて、前記第1および第2の媒質中のそれぞれにおける前記被検物の複数の配置状態にて前記第1および第2の透過波面を計測し、
該屈折率分布計測方法は、前記被検物の配置状態の変化に対する収差敏感度を求めて、該収差敏感度と前記複数の配置状態にて計測された前記第1および第2の透過波面とから、前記第1および第2の透過波面の計測時における前記被検物の前記各配置状態での配置誤差を算出する配置誤差算出ステップを含んでおり、
前記基準透過波面取得ステップにおいて、前記基準被検物が前記第1および第2の媒質中のそれぞれにおける前記配置誤差を含む配置状態にあるときに得られる前記第1および第2の基準透過波面を取得することを特徴とする屈折率分布計測方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
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