特許

J-GLOBAL ID：201203051042304187

曲率可変ユニットおよびレーザ加工装置

発明者： 石塚 智彦 ,  長谷川 正彦 ,  高橋 圭二
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (4件)： 村上 啓吾 ,  大岩 増雄 ,  児玉 俊英 ,  竹中 岑生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-105078
公開番号（公開出願番号）：特開2012-237796
出願日： 2011年05月10日
公開日（公表日）： 2012年12月06日
要約：

【課題】高圧冷却水を発生させる装置を備えなくても、曲率可変鏡の熱変形を補正することができる曲率可変ユニットを提供する。【解決手段】レーザビーム2を被加工物6に集光する集光レンズ5に向けて、レーザビーム2を偏向させるために、圧力負荷9を鏡面部7の裏面の圧力負荷面10に加えることにより、(サジタル方向の曲率):(メリジオナル方向の曲率)=2:1となる変形を発生する曲率可変鏡4と、レーザビーム2により曲率可変鏡4にて発生する熱変形と同等の熱変形を発生する熱変形補正鏡3とを備え、曲率可変鏡4と熱変形補正鏡3を互いの反射方向が90°ねじれるように配置する構成とした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザビームを被加工物に集光する集光レンズに向けて、前記レーザビームを偏向させる曲率可変ユニットにおいて、 圧力負荷を鏡面部の裏面の圧力負荷面に加えることにより(サジタル方向の曲率):(メリジオナル方向の曲率)=2:1となる変形を発生する曲率可変鏡と、 前記レーザビームにより前記曲率可変鏡にて発生する熱変形と同等の熱変形を発生する熱変形補正鏡とを備え、 前記曲率可変鏡と前記熱変形補正鏡を互いの反射方向が90°ねじれるように配置する構成とした曲率可変ユニット。

IPC (3件)：

G02B 5/10 ,  B23K 26/06 ,  B23K 26/04

FI (3件)：

G02B5/10 B ,  B23K26/06 Z ,  B23K26/04 C

Fターム (5件)：

2H042DD11 ,  2H042DE06 ,  4E068CB08 ,  4E068CD11 ,  4E068CE03