特許

J-GLOBAL ID：201203051078166902

粉体に対するクラスタ堆積方法及び粉体に対するクラスタ堆積装置

発明者： 渡邊 佳英
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 特許業務法人セントクレスト国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-072073
公開番号（公開出願番号）：特開2012-207249
出願日： 2011年03月29日
公開日（公表日）： 2012年10月25日
要約：

【課題】簡便な工程でありながら、1バッチで粉体に対してクラスタを均一に堆積させることが可能な粉体に対するクラスタ堆積方法を提供すること。【解決手段】ターゲット材料からクラスタCを生成する工程と、 クラスタCの中から質量フィルタによりクラスタサイズを基準として堆積用のクラスタを選別する工程と、 担体粒子Pからなる粉体と液体との混合物を真空中に噴出させる工程と、 真空中に噴出された前記混合物中の担体粒子Pに、前記堆積用のクラスタを接触させることにより、担体粒子Pの表面上にクラスタCを堆積させる工程と、を含むことを特徴とする粉体に対するクラスタ堆積方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ターゲット材料からクラスタを生成する工程と、 前記クラスタの中から質量フィルタによりクラスタサイズを基準として堆積用のクラスタを選別する工程と、 担体粒子からなる粉体と液体との混合物を真空中に噴出させる工程と、 真空中に噴出された前記混合物中の前記担体粒子に、前記堆積用のクラスタを接触させることにより、前記担体粒子の表面上にクラスタを堆積させる工程と、 を含むことを特徴とする粉体に対するクラスタ堆積方法。

IPC (5件)：

C23C 14/00 ,  C23C 14/32 ,  B01J 23/63 ,  B01J 37/02 ,  B01J 37/34

FI (6件)：

C23C14/00 A ,  C23C14/32 A ,  C23C14/32 B ,  B01J23/56 301 ,  B01J37/02 301P ,  B01J37/34

Fターム (29件)：

4G169AA03 ,  4G169AA08 ,  4G169BA28A ,  4G169BA28B ,  4G169BB04B ,  4G169BC43B ,  4G169BC75B ,  4G169BE01A ,  4G169BE06A ,  4G169BE06B ,  4G169BE07A ,  4G169BE10A ,  4G169BE13A ,  4G169BE18A ,  4G169DA05 ,  4G169FA01 ,  4G169FA02 ,  4G169FB02 ,  4G169FB58 ,  4G169FC01 ,  4G169FC08 ,  4G169FC10 ,  4K029AA04 ,  4K029AA22 ,  4K029BA13 ,  4K029BD00 ,  4K029CA03 ,  4K029DD03 ,  4K029JA00