特許

J-GLOBAL ID：201203051165690227

基板載置装置および基板載置方法

発明者： 中村 謙太
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (4件)： 手島 勝 ,  安部 誠 ,  山根 広昭 ,  大井 道子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-107342
公開番号（公開出願番号）：特開2012-238758
出願日： 2011年05月12日
公開日（公表日）： 2012年12月06日
要約：

【課題】空気の巻き込みによる基板の位置ずれを防止できる基板載置装置を提供する。【解決手段】基板10を載置する基板載置装置100は、基板10を保持するステージ30と、ステージ30に設けられ、基板10を吸着する真空チャック31とを備える。真空チャック31は、ステージ30の表面30sに配列された吸着孔32を有しており、真空チャック31は、ステージ30の一端30aから他端30bに向けて基板10の吸着を実行する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板を載置する基板載置装置であって、 前記基板を保持するステージと、 前記ステージに設けられ、前記基板を吸着する真空チャックと を備え、 前記真空チャックは、前記ステージの表面に配列された吸着孔を有しており、 前記真空チャックは、前記ステージの表面に対して斜めに配置された前記基板が下降するに従って、前記ステージの一端から他端に向けて順次、前記基板の吸着を実行することを特徴とする、基板載置装置。

IPC (1件)：

H01L 21/683

FI (1件)：

H01L21/68 P

Fターム (14件)：

5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA18 ,  5F031GA02 ,  5F031GA46 ,  5F031GA56 ,  5F031HA06 ,  5F031HA13 ,  5F031HA33 ,  5F031MA27 ,  5F031PA21 ,  5F031PA30