特許
J-GLOBAL ID：201203051178664900
基板の貼り合せ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩川 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-117466
公開番号（公開出願番号）：特開2012-247507
出願日： 2011年05月25日
公開日（公表日）： 2012年12月13日
要約：
【課題】 2枚の基板の貼り合せ後に、該基板を基板保持部から確実に剥離させ、基板の貼り合せ精度を向上させること。【解決手段】 チャンバ12内にて対向して配置された第1と第2の基板保持部15、18の基板保持面15a、18aにそれぞれ保持した2枚の基板1、2を貼り合せる基板の貼り合せ装置10において、第1と第2の基板保持部15、18の少なくとも一方に前記基板保持面15a、18aとは交差する方向に貫通して設けられた貫通孔21に当該基板保持面15a、18aに対して突没可能に挿通され、前記基板1、2を吸着保持する吸着部23を備えた基板受渡しピン22と、前記貫通孔21と前記基板受渡しピン22との間に配置され、前記基板保持面15a、18aに保持された基板1、2との間で閉空間51を形成するシール手段50と、前記閉空間51にガスを供給するガス供給手段60と、を有してなるもの。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
チャンバ内にて対向して配置された第1と第2の基板保持部の基板保持面にそれぞれ保持した2枚の基板を貼り合せる基板の貼り合せ装置において、
第1と第2の基板保持部の少なくとも一方に前記基板保持面とは交差する方向に貫通して設けられた貫通孔に当該基板保持面に対して突没可能に挿通され、前記基板を吸着保持する吸着部を備えた基板受渡しピンと、
前記貫通孔と前記基板受渡しピンとの間に配置され、前記基板保持面に保持された基板との間で閉空間を形成するシール手段と、
前記閉空間にガスを供給するガス供給手段と、を有してなることを特徴とする基板の貼り合せ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02F1/13 101
, G09F9/00 342Z
2H088FA04
, 2H088FA09
, 2H088FA16
, 2H088FA17
, 2H088FA30
, 2H088MA20
, 5G435AA17
, 5G435BB12
, 5G435KK05
, 5G435KK10
