特許

J-GLOBAL ID：201203051255605644

MEMS振動子および発振器

発明者： 木原 竜児
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-075808
公開番号（公開出願番号）：特開2012-209885
出願日： 2011年03月30日
公開日（公表日）： 2012年10月25日
要約：

【課題】出力が大きく、かつ高い周波数で駆動するMEMS振動子を提供する。【解決手段】本発明に係るMEMS振動子100は、基板10の表面11に固定された第1電極20と、第1電極20の第1面21と対向する第2面31を備えた梁部34、および梁部34を支持し基板10の表面11に固定された支持部32を有する第2電極30と、を含み、梁部34は、梁部34の第1面21の垂線Q方向の長さTが、梁部34の先端35に向かうにつれて単調に減少する第1部分36を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板の表面に固定された第1電極と、 前記第1電極の第1面と対向する第2面を備えた梁部、および前記梁部を支持し前記基板の表面に固定された支持部を有する第2電極と、 を含み、 前記梁部は、前記梁部の前記第1面の垂線方向の長さが、前記梁部の先端に向かうにつれて単調に減少する第1部分を有する、MEMS振動子。

IPC (3件)：

H03H 9/24 ,  B81B 3/00 ,  H03B 5/30

FI (3件)：

H03H9/24 Z ,  B81B3/00 ,  H03B5/30 Z

Fターム (28件)：

3C081AA13 ,  3C081BA43 ,  3C081BA46 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081CA03 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA40 ,  3C081EA21 ,  5J079AA01 ,  5J079BA43 ,  5J079FA01 ,  5J079HA03 ,  5J079HA22 ,  5J079JA02 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC08 ,  5J108CC11 ,  5J108CC12 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108FF02 ,  5J108FF04 ,  5J108JJ04 ,  5J108KK02