特許

J-GLOBAL ID：201203051938992830

洗浄方法

発明者： 床嶋 裕人 ,  森田 博志
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (2件)： 早川 裕司 ,  村雨 圭介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-004036
公開番号（公開出願番号）：特開2012-143708
出願日： 2011年01月12日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：

【課題】より低コストかつ省資源な洗浄を行うために、ガス溶解水を用いた高圧ジェット洗浄又は二流体洗浄のみにより、超音波洗浄を組み合わせる必要がない程度に十分な洗浄効果をあげる洗浄方法を提供する。【解決手段】洗浄流体吐出ノズルから洗浄液又は洗浄液と気体との混合流体を被洗浄物に向けて吐出させて、被洗浄物を高圧ジェット洗浄又は二流体洗浄する洗浄方法において、流体吐出ノズルに導入される洗浄液に溶存ガスを含ませる。溶存ガスは、所定の圧力が加えられることにより洗浄液に溶解され、溶存ガスの洗浄液への溶解量は、洗浄液の液温における飽和溶解度を第1飽和溶解度とし、洗浄液の液温を保ったまま所定の圧力を加えた状態における飽和溶解度を第2飽和溶解度とした場合に、第2飽和溶解度と第1飽和溶解度との差の10〜70%を第1飽和溶解度に加えたものとする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

洗浄流体吐出ノズルから洗浄液又は洗浄液と気体との混合流体を被洗浄物に向けて吐出させて、前記被洗浄物を高圧ジェット洗浄又は二流体洗浄する洗浄方法であって、 前記流体吐出ノズルに導入される前記洗浄液は溶存ガスを含んでおり、 前記溶存ガスは、所定の圧力が加えられることにより前記洗浄液に溶解され、 前記溶存ガスの前記洗浄液への溶解量は、前記洗浄液の液温における飽和溶解度を第1飽和溶解度とし、前記洗浄液の液温を保ったまま前記所定の圧力を加えた状態における飽和溶解度を第2飽和溶解度とした場合に、前記第2飽和溶解度と前記第1飽和溶解度との差の10〜70%を前記第1飽和溶解度に加えたものであることを特徴とする、洗浄方法。

IPC (3件)：

B08B 3/02 ,  B08B 3/10 ,  H01L 21/304

FI (5件)：

B08B3/02 A ,  B08B3/10 Z ,  H01L21/304 643A ,  H01L21/304 647Z ,  H01L21/304 647B

Fターム (40件)：

3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB34 ,  3B201BB22 ,  3B201BB36 ,  3B201BB38 ,  3B201BB93 ,  3B201BB94 ,  3B201BB95 ,  3B201BB96 ,  3B201BB98 ,  5F157AA42 ,  5F157AA46 ,  5F157AA73 ,  5F157AB02 ,  5F157AB16 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157BB22 ,  5F157BB35 ,  5F157BB37 ,  5F157BC13 ,  5F157BC14 ,  5F157BC41 ,  5F157BD02 ,  5F157BD03 ,  5F157BD22 ,  5F157BD25 ,  5F157BD26 ,  5F157BD28 ,  5F157BD33 ,  5F157BD35 ,  5F157BD36 ,  5F157BD54 ,  5F157BE12 ,  5F157BE32 ,  5F157BE42 ,  5F157CE04 ,  5F157CE37 ,  5F157DB03