特許

J-GLOBAL ID：201203053414388040

インプリント装置

発明者： 稲 浪 良 市
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (6件)： 勝沼 宏仁 ,  佐藤 泰和 ,  川崎 康 ,  関根 毅 ,  赤岡 明 ,  箱崎 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-190852
公開番号（公開出願番号）：特開2012-049370
出願日： 2010年08月27日
公開日（公表日）： 2012年03月08日
要約：

【課題】高い精度および効率でパターン転写を行うインプリント装置を提供する。【解決手段】被転写基板に転写するパターンの形状を有するテンプレートを前記被転写基板上に形成されたレジストに接触させた状態で前記レジストを硬化することによりレジストパターンを形成するインプリント装置は、アレイ状をなすように所望の間隔で複数のテンプレートを保持するテンプレート保持手段と、前記テンプレートの位置を個々に制御する位置制御手段と、を持つ。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被転写基板に転写するパターンの形状を有するテンプレートを前記被転写基板上に形成されたレジストに接触させた状態で前記レジストを硬化することによりレジストパターンを形成するインプリント装置であって、 アレイ状をなすように所望の間隔で複数のテンプレートを保持するテンプレート保持手段と、 前記テンプレートの位置を個々に制御する位置制御手段と、 を備えるインプリント装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  B29C 59/02

FI (2件)：

H01L21/30 502D ,  B29C59/02 Z

Fターム (11件)：

4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AR07 ,  4F209AR12 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN13 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28