特許
J-GLOBAL ID：201203053576270442
電子顕微鏡、および回折像観察方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-061352
公開番号（公開出願番号）：特開2012-199022
出願日： 2011年03月18日
公開日（公表日）： 2012年10月18日
要約：
【課題】 透過型電子顕微鏡で、微弱な素子内部の磁化分布や電場分布、及びその変化の観察、素子配置の周期性の解析などを実施するために、これらの電磁場から電子線が受ける偏向を高精度で検出し、電子回折像として観察可能とする。【解決手段】 従来、短焦点距離で使用されてきた試料3直下の第1段目(電子線の進行方向で試料の下流側第1段目)の電子レンズを、長焦点距離対物レンズ51として用いることにより、照射レンズ系41,42により結像された光源の像11を、結像レンズ系61〜64の物面に結像させ、実効的に試料の回折像を拡大し、10-6rad程度の小散乱角電子線の回折像の観察を可能ならしめる。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡であって、
電子線の光源と、
前記光源から放出される前記電子線を試料に照射するための少なくとも2つの電子レンズから構成される照射レンズ系と、
前記電子線が照射する試料を保持するための試料保持装置と、
前記試料の像を結像するための少なくとも1つの電子レンズから構成される対物レンズ系と、
前記対物レンズ系の前記電子線の進行方向下流側に配される複数の電子レンズから構成される結像レンズ系と、
前記結像レンズ系による前記試料の像あるいは前記試料の回折像を観察する観察面と、
前記試料の像あるいは前記試料の回折像を記録するための記録装置と、
を備え、
前記照射レンズ系により前記試料よりも前記電子線の進行方向上流側に前記光源の像を結像するとともに、
前記対物レンズ系に属する電子レンズを長焦点距離で使用することにより、前記光源の像を前記結像レンズ系の物面の1つに結像して前記試料の回折像を観察する、
ことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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