特許
J-GLOBAL ID:201203053819500700

積層型圧電素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 高橋 祥泰 ,  岩倉 民芳 ,  高橋 祥起
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-153488
公開番号(公開出願番号):特開2012-209579
出願日: 2012年07月09日
公開日(公表日): 2012年10月25日
要約:
【課題】側面電極の形成時等に圧電ユニット間の接合部への側面電極成分の滲入を防止することができると共に、上記圧電ユニット内におけるクラックの発生を抑制することができる積層型圧電素子を提供すること。【解決手段】圧電活性領域191と圧電不活性領域192とを有する積層型圧電素子5である。圧電ユニット15同士は、その接合面151における圧電活性領域191で圧電ユニット15同士を接着する領域である部分接着部501と、接合面151における圧電不活性領域192で圧電ユニット15同士を接着しない領域である非接着部502とを有する接合材層50を圧電ユニット15間に形成するか、あるいは圧電ユニット15同士を積層方向に加圧することにより保持される。圧電ユニット15同士の接合部555における少なくとも側面電極17、18が配設される側面には、開口部559を塞ぐマスキング部材55が形成されている。【選択図】図29
請求項(抜粋):
電圧の印加により伸縮可能な圧電セラミックからなる圧電体層と、内部電極を構成する電極部を含む電極配設層とを交互に積層してなる圧電ユニットを複数積み重ねてなり、隣り合う2つの上記内部電極に交互に電気的に導通する導電性材料からなる一対の側面電極を有する積層型圧電素子において、 上記積層型圧電素子は、該積層型圧電素子を積層方向に透視した場合に、すべての上記電極部が重合する領域である圧電活性領域と、少なくとも一部の上記電極部しか重合しない、あるいは全く重合しない領域である圧電不活性領域とを有し、 上記圧電ユニット同士は、その接合部における上記圧電活性領域の少なくとも一部で上記圧電ユニット同士が接着剤によって接着された領域である部分接着部と、上記接合部における上記圧電不活性領域の少なくとも一部で上記圧電ユニット同士が接着されていない領域である非接着部とを有する接合材層を上記圧電ユニット間に形成するか、あるいは上記圧電ユニット同士を少なくとも積層方向に加圧することにより保持され、 上記圧電ユニット同士の接合部における少なくとも上記側面電極が配設される側面には、上記接合部の隙間が側面に開口する開口部を塞ぐマスキング部材が形成されていることを特徴とする積層型圧電素子。
IPC (4件):
H01L 41/083 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22 ,  H02N 2/00
FI (4件):
H01L41/08 N ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/22 Z ,  H02N2/00 B
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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