特許
J-GLOBAL ID:201203054888546930

薄膜太陽電池用溝加工ツール

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-270200
公開番号(公開出願番号):特開2012-119610
出願日: 2010年12月03日
公開日(公表日): 2012年06月21日
要約:
【課題】集積型薄膜太陽電池基板の溝形成時において、溝端部の膜剥離を抑えて高い品質で加工でき、かつ簡単な工程で溝加工を行うことができるようにする。【解決手段】この溝加工ツール16は、ホルダ15に保持され、ホルダ15とともに集積型薄膜太陽電池基板上をスクライブ予定ラインに沿って相対的に移動させて溝を形成するためのツールである。この溝加工ツール16は、ホルダ15に保持されるツール本体22と、ツール本体22の先端部に形成された刃先部24と、を備えている。刃先部24は、ツール移動方向一端側の先端に、ツール移動方向と交差する方向に延びる刃25を有し、刃25は、刃先部24の底面から視て、ツール移動方向と直交する方向に対してツール移動方向後方に傾斜している。【選択図】図4
請求項(抜粋):
ホルダに保持され、前記ホルダとともに集積型薄膜太陽電池基板上をスクライブ予定ラインに沿って相対的に移動させて溝を形成するための溝加工ツールであって、 前記ホルダに保持されるツール本体と、 前記ツール本体の先端部に形成された刃先部と、 を備え、 前記刃先部は、ツール移動方向一端側の先端に、ツール移動方向と交差する方向に延びる刃を有し、 前記刃は、前記刃先部の底面から視て、第1端から第2端側への少なくとも前記第1端を含む一部がツール移動方向と直交する方向に対してツール移動方向後方に傾斜している、 薄膜太陽電池用溝加工ツール。
IPC (1件):
H01L 31/04
FI (1件):
H01L31/04 Z
Fターム (1件):
5F151CB30
引用特許:
審査官引用 (5件)
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