特許
J-GLOBAL ID：201203055425230271
マイクロプラズマ発生器及びその応用
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-508591
公開番号（公開出願番号）：特表2012-525684
出願日： 2010年04月27日
公開日（公表日）： 2012年10月22日
要約：
【課題】連続する線状又はリング状のプラズマを発生するマイクロプラズマ発生器を提供する。【解決手段】低温、大気圧下で使用するマイクロプラズマ発生器100は、誘電体基板の上に少なくとも一つの金属細片101を備えており、該金属細片101の第1の端部107は接地平面105に接続されていると共に、第2の端部110は接地電極111に隣接している。また、金属細片101の第2の端部110と接地電極111との間には隙間115が設けられている。細片101には高周波電力が供給されており、その周波数は、細片101の長さが該細片101に沿って移動する波長(λ)の1/4の奇数倍となるように選択されている。マイクロプラズマは、細片101の第2の端部110と接地電極111との間の隙間115に、その領域の電場に起因して発生する。【選択図】図1B
請求項（抜粋）：
第1の表面及び第2の表面を有する基板と、
前記基板の第1の表面の上に設けた第1の端部及び第2の端部を有し、かつ動作周波数(λ)の1/4の奇数倍の長さを有する細片と、
前記基板の前記第2の表面上に設けられ、かつ前記細片の第1の端部が接続された接地平面と、
前記細片の第2の端部に隣接し、かつ前記接地平面に接続された接地電極とを備え、
前記細片の第2の端部と前記接地電極との間には放電隙間が設けられ、
さらに、前記細片への給電用電源への接続のためのコネクタと
を備えたことを特徴とするプラズマ発生器。
IPC (3件)：
H05H 1/24
, H05H 1/46
, C23C 16/50
H05H1/24
, H05H1/46 B
, C23C16/50
4K030BA29
, 4K030FA01
, 4K030JA09
, 4K030KA30
, 4K030LA16
