特許
J-GLOBAL ID:201203055564472778

光陰極高周波電子銃、および光陰極高周波電子銃を備えた電子線装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 牛木 護 ,  吉田 正義 ,  今枝 弘充 ,  梅村 裕明 ,  小合 宗一 ,  高橋 知之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-140546
公開番号(公開出願番号):特開2012-004069
出願日: 2010年06月21日
公開日(公表日): 2012年01月05日
要約:
【課題】電子ビームの時間幅を容易に変更することができる光陰極高周波電子銃、および、当該光陰極高周波電子銃を備えた電子線装置を提供する。【解決手段】カソード部3と、前記カソード部3にレーザー光8を照射するレーザー照射口4と、前記カソード部3から放出された電子9を加速する加速空胴部5と、前記加速空胴部5の内部に高周波を導入する高周波導入部15とを備える光陰極高周波電子銃1において、前記加速空胴部5は、二以上の基本セル10と、前記基本セル10同士の間に設けられる基本アイリス12と、前記基本セル10の出口に最終アイリス13を挟んで連通された最終セル11とを有し、前記最終アイリス13の厚さは、前記第2アイリス12の厚さと異なることを特徴とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
カソード部と、 前記カソード部にレーザー光を照射するレーザー照射口と、 前記カソード部から放出された電子を加速する加速空胴部と、 前記加速空胴部の内部に高周波を導入する高周波導入部と を備える光陰極高周波電子銃において、 前記加速空胴部は、 二以上の基本セルと、 前記基本セル同士の間に設けられる基本アイリスと、 前記基本セルの出口に最終アイリスを挟んで連通された最終セルと を有し、 前記基本アイリスは、前記基本セルのうち終端に設けられた出口セルと、当該出口セルと隣り合う他の基本セルの間に配置された、後方アイリスを含み、 前記最終アイリスの厚さは、前記後方アイリスの厚さと異なる ことを特徴とする光陰極高周波電子銃。
IPC (4件):
H01J 37/073 ,  H01J 37/06 ,  H05H 7/08 ,  H05H 7/18
FI (4件):
H01J37/073 ,  H01J37/06 A ,  H05H7/08 ,  H05H7/18
Fターム (6件):
2G085BA01 ,  2G085BA05 ,  2G085BA08 ,  5C030BB09 ,  5C030BB17 ,  5C030CC01
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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