特許

J-GLOBAL ID：201203055588884791

エンコーダ装置、光学装置、露光装置、露光方法およびデバイス製造方法

発明者： 劉 志強
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-189192
公開番号（公開出願番号）：特開2012-049284
出願日： 2010年08月26日
公開日（公表日）： 2012年03月08日
要約：

【課題】小型であり、且つ回折格子で反射回折された回折光の光量の利用効率が従来よりも高いエンコーダ装置を提供する。【解決手段】エンコーダヘッド20は、光源部から照明光がスケール5(回折格子)に照射されてスケール5で反射回折された+1次回折光を反射させて当該+1次回折光の回折角と等しい角度で再びスケール5に入射させる第1コーナーキューブ21と、スケール5で反射回折された-1次回折光を反射させて当該-1次回折光の回折角と等しい角度で再びスケール5に入射させる第2コーナーキューブ23とを有して構成される。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

ベース部材に対して所定方向に直線移動する測定対象物の移動量を測定するエンコーダ装置であって、 前記ベース部材および前記測定対象物のいずれか一方に設けられ、前記所定方向に所定間隔で配列された格子パターンを有する反射型の回折格子と、 前記格子パターンに向けて照明光を射出する光源部と、 前記ベース部材および前記測定対象物の他方に設けられ、前記光源部から射出された前記照明光が前記格子パターンに照射されて前記格子パターンで反射回折された±n次回折光(nは整数)を再び前記格子パターンに入射させるとともに、当該格子パターンで反射回折された二つの回折光を重ね合わせて干渉させ干渉光として射出するエンコーダヘッドと、 前記エンコーダヘッドから射出された前記干渉光を受けて、前記干渉光の強度の変化を光電変換して出力する光検出部と、 前記光検出部から出力された光強度信号から前記干渉光の位相値を算出し、算出した前記位相値に基づいて前記測定対象物の移動量を測定する移動量測定部とを備え、 前記エンコーダヘッドは、前記格子パターンで反射回折された前記+n次回折光を反射させて前記+n次回折光の回折角と等しい角度で再び前記格子パターンに入射させる第1反射部と、前記格子パターンで反射回折された前記-n次回折光を反射させて前記-n次回折光の回折角と等しい角度で再び前記格子パターンに入射させる第2反射部とを有して構成されること特徴とするエンコーダ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G01D 5/38

FI (3件)：

H01L21/30 516B ,  G01B11/00 G ,  G01D5/38 A

Fターム (36件)：

2F065AA02 ,  2F065AA03 ,  2F065AA04 ,  2F065AA09 ,  2F065AA20 ,  2F065CC20 ,  2F065FF16 ,  2F065FF18 ,  2F065FF48 ,  2F065FF52 ,  2F065GG23 ,  2F065HH09 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL12 ,  2F065LL17 ,  2F065LL33 ,  2F065LL35 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL42 ,  2F103BA43 ,  2F103CA03 ,  2F103CA04 ,  2F103DA12 ,  2F103EA01 ,  2F103EB32 ,  2F103EC01 ,  2F103EC11 ,  2F103EC13 ,  5F046DB05 ,  5F046DB08 ,  5F146DB05 ,  5F146DB08