研磨破片、開口部を有する成形研磨粒子、又は皿型成形研磨粒子を作製する方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 清水義憲 , 池田成人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-542198
公開番号（公開出願番号）：特表2012-512045
出願日： 2009年11月24日
公開日（公表日）： 2012年05月31日
要約：

プロセスパラメータを制御することによって、及び複数の成形型のキャビティを有するポリマー製造工具を使用することによって、研磨破片、皿型成形研磨粒子、及び開口部を有する成形研磨粒子からなる群から選択される、異なるタイプの成形研磨粒子が、まさに同じ成形型から製造することができる。一実施形態では、成形型は、複数の正三角形及び断裂された前駆体研磨粒子、皿型成形前駆体研磨粒子、又は開口部を有する前駆体成形研磨粒子が、同じ成形型から製造された。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数のキャビティを有する成形型を提供する工程であって、前記複数のキャビティがポリマー表面を含む、工程と、前記複数のキャビティをゾル-ゲルで充填する工程であって、前記ゾル-ゲルが、αアルミナに転換可能な液体中の粒子を含み、前記液体が揮発性成分を含む、工程と、前記ゾル-ゲルが前記複数のキャビティの中にあるうちに、前記ゾル-ゲルから前記揮発性成分の少なくとも一部分を除去することによって、研磨破片、開口部を有する成形研磨粒子、及び皿型成形研磨粒子からなる群から選択されるタイプを有する、複数の前駆体成形研磨粒子を形成する工程と、を含む、方法。

IPC (1件)：

B24D 3/00

FI (3件)：

B24D3/00 320A , B24D3/00 340 , B24D3/00 330E

Fターム (5件)：

3C063BB03 , 3C063BB06 , 3C063BC03 , 3C063CC01 , 3C063FF23

引用特許：

出願人引用 (1件)

特表平7-509508

審査官引用 (3件)

特表平7-509508
特表平7-509508
特表平7-509508

前のページに戻る