特許
J-GLOBAL ID：201203057011040996
静電容量式センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
三好 秀和
, 伊藤 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-269508
公開番号（公開出願番号）：特開2012-117971
出願日： 2010年12月02日
公開日（公表日）： 2012年06月21日
要約：
【課題】より簡素な構成で寄生容量のオフセット量を低減させることのできる加速度センサを得る。【解決手段】検出電極8a、8bと一方の可動電極4との間、および検出電極9a、9bと他方の可動電極5との間にそれぞれ形成された隙間部分に、これら検出電極8a、8b、9a、9bと可動電極4、5とを画成するフレーム壁30をフレーム3から一体に延設した。そして、このフレーム壁30によって寄生容量のバランスをとるようにした。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
可動電極と、
前記可動電極を揺動自在に支持する一対のビームと、
前記一対のビームを結ぶ直線の一方側および他方側にそれぞれ設けられるとともに、前記可動電極の表面に対して間隔をあけて対向するように配置される第1および第2の固定電極と、
前記可動電極を内包するフレームと、
前記第1および第2の固定電極にそれぞれ電気的に接続される検出電極と、
を備える静電容量式センサにおいて、
前記検出電極どうしの間、前記検出電極と前記フレームとの間、および、前記検出電極と前記可動電極との間にそれぞれ隙間が形成されており、
前記検出電極と前記可動電極との間に形成された隙間部分に、前記検出電極と前記可動電極とを画成するフレーム壁が、前記フレームから一体に延設されていることを特徴とする静電容量式センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P15/125 Z
, G01P15/00 K
