特許
J-GLOBAL ID：201203057260880104
X線検査方法およびX線検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人深見特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2009071244
公開番号（公開出願番号）：WO2010-074031
出願日： 2009年12月21日
公開日（公表日）： 2010年07月01日
要約：
X線検査装置(100)は、X線源(10)と、X線検出器(23)と、X線検出器(23)からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構(30)と、検査対象(1)を移動するための検査対象駆動機構(20)と、X線源制御機構(60)と、演算部(70)とを備える。X線源制御機構(60)は、演算部(70)からの指示に基づいて、X線源(10)にX線をX方向に並んだ焦点位置から出力させる。検査対象(1)は、複数の部分領域に分割されている。画像取得制御機構(30)は、各焦点位置を出力し、部分領域を透過したX線の画像である部分画像を取得する。すべての焦点位置について部分画像の取得が終了すると、検査対象駆動機構(20)は、演算部(70)の指示に基づいて、検査対象(1)をY方向に移動する。
請求項（抜粋）：
X線源(10)が出力して、対象物(1)の検査対象領域を透過したX線をX線検出部で検出し、検出されたX線が示す画像から前記検査対象領域の3次元データを再構成するX線検査方法であって、
前記X線源がX線焦点位置(17)から出力し、前記検査対象領域を第1の方向について分割した複数の部分領域をそれぞれ透過したX線の検出結果から、前記複数の部分領域の各々についての部分画像を取得するステップ(S1506)と、
前記X線源のX線焦点位置を前記第1の方向に走査しつつ、前記部分画像を取得するステップを繰り返すステップ(S1504,S1508,S1510)と、
前記X線焦点位置の走査によって取得された、複数の前記X線焦点位置の各々における部分画像から、前記3次元データを再構成するステップ(S1410)とを備える、X線検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N23/04
, H01L23/12 501Z
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001GA12
, 2G001HA13
, 2G001HA14
, 2G001KA03
, 2G001LA11
