特許
J-GLOBAL ID：201203058004724975
ランプユニットおよびこのランプを備えた光照射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-086091
公開番号（公開出願番号）：特開2012-221726
出願日： 2011年04月08日
公開日（公表日）： 2012年11月12日
要約：
【課題】均一な照度分布を有し、マスクのパターンに忠実で解像度の高いパターンを形成することができるランプユニットおよび光照射装置を提供すること。【解決手段】ショートアーク型の放電ランプとリフレクタよりなる複数の光源素子12を、一方向に並べて配置し、複数列の光源素子列11a,11bからなるランプユニット10を構成する。光源素子列11aと光源素子列11bにおける光源素子12はX方向(光源素子列の並び方向)に対して互いに斜め方向にずらした位置に配置され、ランプユニット10の全体から出射する光によって被照射面に形成される光照射領域の光量分布の均一度を向上させる。また、光源素子列11a,11bの光出射側には、光量補正板25a,25bを設け、各光源素子12から出射した光の光量分布におけるトップ近傍における光量を減光することにより該ランプユニットの積算光量の均一度を補正する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ショートアーク型の放電ランプ、およびこの放電ランプを取り囲むよう配置されたリフレクタよりなる複数の光源素子が、その出射光の光軸が平行になるように一方向に並んで配置されてなる、それぞれ同方向に伸びる複数の光源素子列と、各光源素子に対応した光源素子収容部を有する光源素子支持枠体とを有してなるランプユニットであって、
前記複数の光源素子列を、前記一方向に直交する方向に並べて配置し、
前記一の光源素子列における光源素子と、前記他の光源素子列における光源素子とを前記一方向に対して互いに斜め方向にずらした位置に配置し、
前記ランプユニットは、前記光源素子から出射した光を減光することにより該ランプユニットの積算光量の均一度を補正する、光量補正板を有する
ことを特徴とするランプユニット。
IPC (3件)：
F21S 2/00
, F21V 11/18
, F21V 17/00
F21S2/00 100
, F21V11/18 100
, F21V17/00 502
3K011BA03
, 3K011BA08
, 3K011BA10
, 3K011HA03
, 3K011JA01
, 3K011LA01
, 3K011LA04
, 3K011LA06
, 3K243MA01
