特許

J-GLOBAL ID：201203058185005045

樹脂及びレジスト組成物

発明者： 市川 幸司 ,  落合 光良 ,  宮川 貴行
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (2件)： 中山 亨 ,  坂元 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-117689
公開番号（公開出願番号）：特開2012-021143
出願日： 2011年05月26日
公開日（公表日）： 2012年02月02日
要約：

【課題】CD均一性(CDU)に優れ、欠陥の発生数が少ないレジストパターンを製造可能なレジスト組成物用の樹脂を提供する。【解決手段】式(I-1)で表される化合物に由来する構造単位を含む樹脂。[式(I-1)中、R1は、炭素数1〜6のフッ化アルキル基を表す。R2は、水素原子又は炭素数1〜6のフッ化アルキル基を表す。B2は、炭素数4〜18のラクトン環を含み、オキシ基との間の結合〔O-B2〕が酸の作用により切断されない基を表す。R5は、水素原子又はメチル基を表す。A1は、炭素数1〜10の2価の炭化水素基を表し、該炭化水素基にメチレン基が含まれる場合、そのメチレン基は、オキシ基又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(I-1)で表される化合物に由来する構造単位を含む樹脂。

IPC (3件)：

C08F 20/26 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

C08F20/26 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R

Fターム (70件)：

2H125AF18P ,  2H125AF38P ,  2H125AH11 ,  2H125AH16 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH23 ,  2H125AH24 ,  2H125AH25 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ69X ,  2H125AM22P ,  2H125AM94P ,  2H125AM99P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN45P ,  2H125AN54P ,  2H125AN65P ,  2H125AN88P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL08T ,  4J100BA03Q ,  4J100BA11P ,  4J100BA11Q ,  4J100BA11R ,  4J100BA11S ,  4J100BA11T ,  4J100BA15P ,  4J100BA15Q ,  4J100BA15R ,  4J100BA15S ,  4J100BA15T ,  4J100BA28Q ,  4J100BA46Q ,  4J100BA55Q ,  4J100BA58Q ,  4J100BA59Q ,  4J100BB12Q ,  4J100BB18P ,  4J100BB18Q ,  4J100BB18S ,  4J100BB18T ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC43Q ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53R ,  4J100BC53S ,  4J100BC53T ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100JA38