特許
J-GLOBAL ID:201203058542853084
製造装置、製造方法、液体吐出ヘッドおよびインクジェットプリンタ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
丸山 隆夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-188513
公開番号(公開出願番号):特開2012-049254
出願日: 2010年08月25日
公開日(公表日): 2012年03月08日
要約:
【課題】パターン化した圧電素子を提供し、それを使用した液滴吐出ヘッド並びにインクジェット装置を提供すること。【解決手段】基板上に形成する圧電体素子の製造装置は、インクジェット法による機能性インクを基板上に任意のパターンで塗布する手段と、短波長レーザーによる機能性インクの脱脂手段と、長波長のレーザーによる機能性インクの加熱および結晶化手段とを備える。【選択図】図3
請求項(抜粋):
基板上に形成する圧電体素子の製造装置であって、
インクジェット法による機能性インクを前記基板上に任意のパターンで塗布する手段と、
短波長レーザーによる前記機能性インクの脱脂手段と、
長波長のレーザーによる前記機能性インクの加熱および結晶化手段とを備えることを特徴とする製造装置。
IPC (5件):
H01L 41/22
, B41J 2/16
, H01L 41/187
, H01L 41/18
, H01L 41/09
FI (6件):
H01L41/22 Z
, B41J3/04 103H
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101Z
, H01L41/18 101B
, H01L41/08 J
Fターム (7件):
2C057AF93
, 2C057AG44
, 2C057AP14
, 2C057AP57
, 2C057AP59
, 2C057AP60
, 2C057AQ02
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