特許

J-GLOBAL ID：201203058736977957

照明方法、照明光学装置、及び露光装置

発明者： 北 尚憲
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-126990
公開番号（公開出願番号）：特開2012-004561
出願日： 2011年06月07日
公開日（公表日）： 2012年01月05日
要約：

【課題】それまで使用されていた光学素子と構成が異なる光学素子を使用する場合に、光量分布に関して必要に応じて互換性を維持する。【解決手段】照明方法において、第1の照明瞳面における光量分布を設定する回折光学素子を経由した光で第1被照射面を照明することと、その第1の照明瞳面の光量分布を計測し、この計測結果を第1光量分布として記憶することと、第2の照明瞳面22Pにおける光量分布をその第1光量分布とほぼ同じ分布に設定可能な空間光変調器13を経由した光で第2被照射面を照明することと、を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被照射面を照明する照明方法において、 第1所定面における光量分布を設定する第1光学素子を経由した光で第1被照射面を照明することと、 前記第1所定面の光量分布を計測し、該計測結果を第1光量分布として記憶することと、 前記第1光学素子と構成が異なるとともに、第2所定面における光量分布を前記第1光量分布とほぼ同じ分布に設定可能な第2光学素子を経由した光で第2被照射面を照明することと、 を含むことを特徴とする照明方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20

FI (3件)：

H01L21/30 515D ,  G02B19/00 ,  G03F7/20 502

Fターム (21件)：

2H052BA02 ,  2H052BA03 ,  2H052BA09 ,  2H052BA12 ,  2H097BB01 ,  2H097CA13 ,  2H097CA17 ,  2H097GB01 ,  2H097GB02 ,  2H097GB03 ,  2H097LA10 ,  5F146BA04 ,  5F146BA05 ,  5F146CB05 ,  5F146CB09 ,  5F146CB10 ,  5F146CB33 ,  5F146CB43 ,  5F146DA02 ,  5F146DA41 ,  5F146DB01