特許

J-GLOBAL ID：201203058930045275

被処理体の冷却方法および被処理体処理装置

発明者： 多田 憲倫 ,  堀内 孝
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2010055687
公開番号（公開出願番号）：WO2010-113941
出願日： 2010年03月30日
公開日（公表日）： 2010年10月07日
要約：

被処理体を冷却する冷却方法を開示する。この冷却方法は、加熱状態にある被処理体をステージ上に載置する工程と、ステージ上に載置された被処理体センターを含むセンター近傍の領域に冷却ガスを吹き付け、被処理体を冷却する工程と、を具備する。

請求項（抜粋）：

被処理体を冷却する冷却方法であって、 加熱状態にある被処理体をステージ上に載置する工程と、 前記ステージ上に載置された前記被処理体のセンターを含むセンター近傍の領域に冷却ガスを吹き付け、前記被処理体を冷却する工程と、 を具備する被処理体の冷却方法。

IPC (3件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/683 ,  C23C 14/58

FI (3件)：

H01L21/02 Z ,  H01L21/68 N ,  C23C14/58 Z

Fターム (21件)：

4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA01 ,  4K029BD01 ,  4K029CA05 ,  4K029GA00 ,  4K029KA01 ,  4K029KA09 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031HA38 ,  5F031MA03 ,  5F031MA28 ,  5F031MA30 ,  5F031NA05 ,  5F031PA11 ,  5F031PA13