特許
J-GLOBAL ID:201203059094200372
マウント装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西教 圭一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-227866
公開番号(公開出願番号):特開2012-083141
出願日: 2010年10月07日
公開日(公表日): 2012年04月26日
要約:
【課題】 熱膨張または熱収縮による被搭載物の位置ずれを抑え得るマウント装置を提供する。【解決手段】 マウント装置は、被搭載物を搭載するための搭載板、搭載板を載置する基台、搭載板と基台との間に配設されて搭載板を支持する第1支持部材、第2支持部材および第3支持部材であって、搭載板の被搭載物を搭載する面に平行で互いに垂直な2方向をX方向およびY方向と定義するとき、基台に対する搭載板のX方向の動きを規制し、Y方向の動きを許容する第1支持部材、基台に対する搭載板のX方向の動きとY方向の動きとを許容する第2支持部材、および基台に対する搭載板のX方向の動きとY方向の動きとを許容する第3支持部材、ならびに、搭載板と基台との間に配設されて、基台に対する搭載板のX方向の動きとY方向の動きとを規制する規制部材を有する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
上面に被搭載物を搭載するための搭載板、
搭載板を載置する基台、
搭載板と基台との間に配設されて搭載板を支持する第1支持部材、第2支持部材および第3支持部材であって、搭載板の上面に平行で互いに垂直な2方向をX方向およびY方向と定義するとき、基台に対する搭載板のX方向の動きを規制し、Y方向の動きを許容する第1支持部材、基台に対する搭載板のX方向の動きとY方向の動きとを許容する第2支持部材、および基台に対する搭載板のX方向の動きとY方向の動きとを許容する第3支持部材、ならびに
搭載板と基台との間に配設されて、基台に対する搭載板のX方向の動きとY方向の動きとを規制する規制部材
を有することを特徴とするマウント装置。
IPC (3件):
G01N 23/20
, H01J 37/244
, H01J 37/20
FI (4件):
G01N23/20
, H01J37/244
, H01J37/20 A
, H01J37/20 E
Fターム (10件):
2G001AA01
, 2G001BA14
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001GA01
, 2G001KA12
, 5C001AA03
, 5C001AA08
, 5C001DD02
, 5C033NN10
引用特許: