特許

J-GLOBAL ID：201203060112409436

固体撮像装置及びその製造方法

発明者： 中舘 和彦
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (18件)： 蔵田 昌俊 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  福原 淑弘 ,  峰 隆司 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  幸長 保次郎 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  勝村 紘 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子 ,  竹内 将訓 ,  市原 卓三 ,  山下 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-279391
公開番号（公開出願番号）：特開2012-129358
出願日： 2010年12月15日
公開日（公表日）： 2012年07月05日
要約：

【課題】イメージエリアへの光の入射効率を向上させることが可能な固体撮像装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】固体撮像装置は、基板15内に設けられ、かつ第1導電型の半導体領域17をそれぞれが有する複数のフォトダイオードPDと、基板15内に設けられ、かつ第2導電型の半導体領域から構成され、かつ複数のフォトダイオードPDをそれぞれ分離する素子分離領域19とを含む。素子分離領域19は、複数のフォトダイオードPDが配列されたイメージエリアの中心方向に傾いている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板内に設けられ、かつ第1導電型の半導体領域をそれぞれが有する複数のフォトダイオードと、 前記基板内に設けられ、かつ第2導電型の半導体領域から構成され、かつ前記複数のフォトダイオードをそれぞれ分離する素子分離領域と、 を具備し、 前記素子分離領域は、前記複数のフォトダイオードが配列されたイメージエリアの中心方向に傾いていることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/146 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/369

FI (3件)：

H01L27/14 A ,  H01L27/14 D ,  H04N5/335 690

Fターム (18件)：

4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA04 ,  4M118CA26 ,  4M118EA01 ,  4M118EA16 ,  4M118FA06 ,  4M118FA26 ,  4M118GA02 ,  4M118GC08 ,  4M118GC14 ,  4M118GD04 ,  4M118HA25 ,  5C024CX35 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5C024GX07