特許

J-GLOBAL ID：201203060239005180

重合体及びレジスト組成物

発明者： 市川 幸司 ,  嶋田 雅彦
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (2件)： 中山 亨 ,  坂元 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-109091
公開番号（公開出願番号）：特開2012-012572
出願日： 2011年05月16日
公開日（公表日）： 2012年01月19日
要約：

【課題】優れたマスクエラーファクター(MEF)及びCD均一性(CDU)を有し、欠陥が少ないパターンを形成することができるレジスト組成物に含まれる重合体を提供する。【解決手段】式(I)で表される基及び式(II)で表される基を有する重合体。[式(I)中、R1は、炭素数1〜6のフッ化アルキル基を表す。*は結合手を表す。式(II)中、R2は、炭素数1〜6のフッ化アルキル基を表す。R3は、水素原子又は炭素数1〜6のフッ化アルキル基を表す。R4は、炭素数1〜12のアシル基又は酸に不安定な基を表す。*は結合手を表す。]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(I)で表される基及び式(II)で表される基を有する重合体。

IPC (3件)：

C08F 222/24 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

C08F222/24 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R

Fターム (45件)：

2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF36P ,  2H125AF38P ,  2H125AH04 ,  2H125AH05 ,  2H125AH11 ,  2H125AH16 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH23 ,  2H125AH24 ,  2H125AH25 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ69X ,  2H125AM22P ,  2H125AM91P ,  2H125AM99P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN45P ,  2H125AN54P ,  2H125AN65P ,  2H125AN88P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA02Q ,  4J100BA15Q ,  4J100BA28P ,  4J100BA58P ,  4J100BB18P ,  4J100BB18Q ,  4J100CA04 ,  4J100DA01 ,  4J100JA38