電界効果型トランジスタ、その製造方法及びスパッタリングターゲット

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：渡辺喜平 , 田中有子 , 佐藤猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-150225
公開番号（公開出願番号）：特開2012-235142
出願日： 2012年07月04日
公開日（公表日）： 2012年11月29日
要約：

【課題】トランジスタ特性(移動度、オフ電流、閾値電圧)及び信頼性(閾値電圧シフト、耐湿性)が良好で、ディスプレイパネルに適した電界効果型トランジスタを提供すること。【解決手段】基板上に、少なくともゲート電極と、ゲート絶縁膜と、半導体層と、半導体層の保護層と、ソース電極と、ドレイン電極とを有し、ソース電極とドレイン電極が、半導体層を介して接続してあり、ゲート電極と半導体層の間にゲート絶縁膜があり、半導体層の少なくとも一面側に保護層を有し、半導体層が、In原子、Sn原子及びZn原子を含む酸化物であり、かつ、Zn/(In+Sn+Zn)で表される原子組成比率が25原子%以上75原子%以下であり、Sn/(In+Sn+Zn)で表される原子組成比率が50原子%未満であることを特徴とする電界効果型トランジスタ。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に、少なくともゲート電極と、ゲート絶縁膜と、半導体層と、半導体層の保護層と、ソース電極と、ドレイン電極とを有し、前記ソース電極とドレイン電極が、半導体層を介して接続してあり、前記ゲート電極と前記半導体層の間にゲート絶縁膜があり、前記半導体層の少なくとも一面側に保護層を有し、前記半導体層が、In原子、Sn原子及びZn原子を含む酸化物であり、かつ、 Zn/(In+Sn+Zn)で表される原子組成比率が25原子%以上75原子%以下であり、 Sn/(In+Sn+Zn)で表される原子組成比率が50原子%未満であることを特徴とする電界効果型トランジスタ。

IPC (7件)：

H01L 29/786 , H01L 21/336 , H01L 21/28 , H01L 29/417 , H01L 21/363 , G02F 1/136 , C23C 14/34

FI (12件)：

H01L29/78 618B , H01L29/78 619A , H01L29/78 618A , H01L29/78 627F , H01L29/78 616K , H01L21/28 301B , H01L21/28 301R , H01L29/50 M , H01L21/28 K , H01L21/363 , G02F1/1368 , C23C14/34 A

Fターム (117件)：

2H092JA31 , 2H092JA32 , 2H092JA33 , 2H092JA35 , 2H092JA39 , 2H092KA05 , 2H092KA08 , 2H092KA12 , 2H092KA19 , 2H092KB05 , 2H092KB24 , 2H092KB25 , 2H092MA05 , 2H092MA08 , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA50 , 4K029BB10 , 4K029BD01 , 4K029CA06 , 4K029DC05 , 4K029DC09 , 4M104AA03 , 4M104AA08 , 4M104AA09 , 4M104BB02 , 4M104BB04 , 4M104BB05 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB13 , 4M104BB14 , 4M104BB16 , 4M104BB17 , 4M104BB36 , 4M104CC01 , 4M104DD40 , 4M104DD42 , 4M104DD73 , 4M104GG08 , 4M104GG14 , 5F103AA08 , 5F103BB22 , 5F103DD30 , 5F103LL13 , 5F103NN06 , 5F103PP03 , 5F110AA01 , 5F110AA05 , 5F110BB01 , 5F110CC05 , 5F110CC07 , 5F110CC08 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD05 , 5F110DD06 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD17 , 5F110DD24 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE07 , 5F110EE08 , 5F110EE14 , 5F110EE44 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF09 , 5F110FF27 , 5F110FF28 , 5F110FF29 , 5F110FF30 , 5F110GG01 , 5F110GG06 , 5F110GG15 , 5F110GG22 , 5F110GG25 , 5F110GG28 , 5F110GG29 , 5F110GG34 , 5F110GG42 , 5F110GG43 , 5F110GG44 , 5F110HJ30 , 5F110HK02 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK06 , 5F110HK07 , 5F110HK21 , 5F110HK22 , 5F110HK33 , 5F110HK41 , 5F110HL27 , 5F110NN02 , 5F110NN03 , 5F110NN12 , 5F110NN13 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN33 , 5F110NN34 , 5F110NN35 , 5F110NN40 , 5F110NN41 , 5F110PP10 , 5F110PP13 , 5F110QQ06 , 5F110QQ12

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